| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·研究背景 | 第10-13页 |
| ·集成电路互连线的发展 | 第10-12页 |
| ·铜、铝互连线的优势及其限制 | 第12页 |
| ·碳纳米管互连线 | 第12-13页 |
| ·碳纳米管的结构与性质 | 第13-19页 |
| ·碳纳米管的结构 | 第14-16页 |
| ·碳纳米管的电子学性质 | 第16-18页 |
| ·碳纳米管的光电学性质 | 第18-19页 |
| ·碳纳米管互连的国内外研究现状 | 第19-21页 |
| ·国外研究现状 | 第19-20页 |
| ·国内研究现状 | 第20-21页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第21-22页 |
| 第二章 横向碳纳米管互连结构的制备工艺的研究 | 第22-33页 |
| ·横向碳纳米管制备方案 | 第22-23页 |
| ·互连结构设计 | 第23-24页 |
| ·绝缘层的制备及表征 | 第24-26页 |
| ·横向碳纳米管互连结构 | 第26-29页 |
| ·光刻工艺 | 第26-28页 |
| ·光刻胶剥离 | 第28-29页 |
| ·催化剂的制备工艺 | 第29-30页 |
| ·电极的制备工艺 | 第30-31页 |
| ·横向碳纳米管制备工艺 | 第31-33页 |
| 第三章 横向碳纳米管互连结构制备的结果与讨论 | 第33-47页 |
| ·催化剂对横向碳纳米管制备的影响 | 第33-36页 |
| ·温度对横向碳纳米管制备的影响 | 第36-39页 |
| ·生长时间对横向碳纳米管制备的影响 | 第39-41页 |
| ·气体比例对横向碳纳米管制备的影响 | 第41-44页 |
| ·横向碳纳米管电学特性的表征 | 第44-47页 |
| 第四章 多壁碳纳米管互连线串扰的建模与仿真 | 第47-59页 |
| ·多壁碳纳米管的互连线基本参数 | 第47-50页 |
| ·多壁碳纳米管的等效电路模型 | 第50-51页 |
| ·互连线串扰仿真分析 | 第51-59页 |
| ·不同电路模型对单根多壁碳纳米管互连线串扰的影响 | 第52-54页 |
| ·多壁碳纳米管束半径对其互连线串扰的影响 | 第54-56页 |
| ·多壁碳纳米管束长度对其互连线串扰的影响 | 第56-57页 |
| ·多壁碳纳米管束氧化层或介质层厚度对其互连线串扰的影响 | 第57-59页 |
| 第五章 总结 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |