| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 符号和缩略词说明 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-24页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第13-14页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第14-21页 |
| 1.2.1 晶圆传输机械手的研究现状 | 第15-18页 |
| 1.2.2 摩擦及粘附理论的研究现状 | 第18-19页 |
| 1.2.3 机械手运动学与动力学研究 | 第19-20页 |
| 1.2.4 机械手控制方法研究 | 第20-21页 |
| 1.3 课题来源 | 第21-22页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 晶圆传输界面摩擦及粘附特性研究 | 第24-39页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 摩擦接触式晶圆传输末端执行器 | 第24-25页 |
| 2.3 摩擦模型与微观接触理论 | 第25-31页 |
| 2.3.1 摩擦模型 | 第26-28页 |
| 2.3.2 微观接触理论 | 第28-30页 |
| 2.3.3 弹性接触基本理论 | 第30-31页 |
| 2.4 晶圆传输界面摩擦及粘附理论分析 | 第31-36页 |
| 2.4.1 水平位姿下摩擦及粘附机理分析 | 第31-33页 |
| 2.4.2 位姿调节下摩擦及粘附机理分析 | 第33-36页 |
| 2.5 微观界面下晶圆传输加速度分析 | 第36-37页 |
| 2.5.1 水平位姿下传输加速度分析 | 第36-37页 |
| 2.5.2 位姿调节下传输加速度分析 | 第37页 |
| 2.6 本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 高加速晶圆传输平台的建模与分析 | 第39-56页 |
| 3.1 引言 | 第39页 |
| 3.2 高加速晶圆传输实验平台的组成 | 第39-40页 |
| 3.3 运动系统坐标系分析 | 第40-42页 |
| 3.3.1 坐标系的建立 | 第40-41页 |
| 3.3.2 原点移动的坐标变换 | 第41-42页 |
| 3.4 高加速晶圆传输平台的运动学分析 | 第42-45页 |
| 3.4.1 运动学基础 | 第42-44页 |
| 3.4.2 运动学求解 | 第44-45页 |
| 3.5 高加速晶圆传输平台的动力学分析 | 第45-48页 |
| 3.5.1 动力学基础 | 第46-47页 |
| 3.5.2 动力学求解 | 第47-48页 |
| 3.6 高加速晶圆传输平台的三维建模与运动仿真 | 第48-55页 |
| 3.6.1 基于UG的运动平台建模 | 第48-49页 |
| 3.6.2 机械手ADAMS运动学仿真 | 第49-55页 |
| 3.7 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 高加速晶圆传输平台的控制方法研究 | 第56-66页 |
| 4.1 引言 | 第56页 |
| 4.2 运动机构的同步控制策略研究 | 第56-59页 |
| 4.2.1 主令同步控制 | 第57页 |
| 4.2.2 交叉耦合同步控制 | 第57-58页 |
| 4.2.3 主从同步控制 | 第58-59页 |
| 4.3 晶圆传输的同步控制结构研究 | 第59-60页 |
| 4.3.1 双伺服电机同步运动系统介绍 | 第59页 |
| 4.3.2 同步控制结构设计分析 | 第59-60页 |
| 4.4 高加速晶圆传输平台的主从控制结构分析 | 第60-65页 |
| 4.4.1 系统整体控制方案设计 | 第60-61页 |
| 4.4.2 基于加速度调节的主从控制结构 | 第61-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 5.1 全文总结 | 第66-67页 |
| 5.2 研究展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及取得的相关科研成果 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |