首页--工业技术论文--无线电电子学、电信技术论文--微电子学、集成电路(IC)论文--一般性问题论文--制造工艺论文

双列直插型低功耗智能功率模块封装工艺缺陷分析与改善

摘要第2-3页
ABSTRACT第3页
1 引言第12-26页
    1.1 智能功率模块概述第12-23页
        1.1.1 功率MOSFET 发展现状第12-14页
        1.1.2 IGBT 发展现状第14-16页
        1.1.3 智能功率模块的特点和发展现状第16-19页
        1.1.4 常用智能功率模块封装结构第19-21页
        1.1.5 常用智能功率模块封装材料第21-23页
    1.2 低功耗智能功率模块特点与应用简介第23-24页
        1.2.1 低功耗智能功率模块特点第23-24页
        1.2.2 低功耗智能功率模块设计结构第24页
        1.2.3 低功耗智能功率模块的应用第24页
    1.3 本文研究的目的与内容第24-26页
2 双列直插型低功耗智能功率模块封装结构设计与工艺第26-34页
    2.1 模块封装结构第26-27页
    2.2 模块封装工艺流程第27-32页
    2.3 低功耗智能功率模块封装工艺的主要缺陷第32页
    2.4 本章小结第32-34页
3 芯片焊接空洞缺陷形成的机理及其解决措施第34-57页
    3.1 芯片焊接空洞缺陷状况第34-36页
    3.2 芯片焊接空洞缺陷形成机理分析第36-41页
        3.2.1 工艺材料的影响第36-37页
        3.2.2 工艺夹具的影响第37-39页
        3.2.3 工艺参数的影响第39-41页
    3.3 缺陷改善实验设计方案第41-47页
        3.3.1 以DBC 为基板的芯片焊接空洞改善实验设计方案第42-44页
        3.3.2 以IMS 为基板的芯片焊接空洞改善试验设计方案第44-47页
    3.4 试验结果与分析第47-56页
        3.4.1 焊接优化正交试验结果第47-48页
        3.4.2 影响芯片焊接空洞的因素分析第48-51页
        3.4.3 针对温度曲线进行优化的试验设计结果第51-55页
        3.4.4 改善措施第55-56页
    3.5 本章小结第56-57页
4 塑封不完整缺陷形成的机理及其解决措施第57-71页
    4.1 塑封缺陷状况第57-58页
    4.2 塑封缺陷形成的机理分析第58-63页
        4.2.1 塑封工艺流程分析第58页
        4.2.2 材料,工具设备及工艺参数分析第58-62页
        4.2.3 工艺参数的影响第62-63页
        4.2.4 EMC 材料本身的影响第63页
        4.2.5 模具的影响第63页
        4.2.6 模块塑封体设计的影响第63页
    4.3 缺陷改善试验设计方案第63-69页
        4.3.1 试验设计方案,结果与分析第64-69页
        4.3.2 改善措施第69页
    4.4 本章小结第69-71页
5 总结与展望第71-72页
参考文献第72-74页
致谢第74-75页
攻读学位期间发表的学术论文第75-78页
上海交通大学学位论文答辩决议书第78页

论文共78页,点击 下载论文
上一篇:刻蚀反应腔的精确匹配
下一篇:掩膜版雾状缺陷改善与光刻良率提升