| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·微电子封装技术概述 | 第9-12页 |
| ·WLCSP技术面临的挑战及其潜在解决方案 | 第12-14页 |
| ·柔性凸点技术国内外研究现状 | 第14-16页 |
| ·论文研究内容 | 第16-17页 |
| ·论文研究思路与章节安排 | 第17-19页 |
| 第二章 电子封装热-机械疲劳可靠性分析与疲劳寿命预测理论 | 第19-28页 |
| ·电子封装热-机械疲劳可靠性有限元建模分析理论 | 第19-22页 |
| ·热-机械疲劳可靠性有限元分析建模方法 | 第19-21页 |
| ·分析方法与步骤 | 第21-22页 |
| ·封装疲劳失效准则 | 第22-23页 |
| ·应力-寿命法 | 第22-23页 |
| ·应变-寿命法 | 第23页 |
| ·线弹性断裂力学法 | 第23页 |
| ·Anand粘塑性本构模型 | 第23-25页 |
| ·板级组装焊点疲劳寿命预测理论 | 第25-27页 |
| ·基于塑性应变的疲劳寿命模型 | 第25-26页 |
| ·基于蠕变应变的疲劳寿命模型 | 第26页 |
| ·基于能量的疲劳寿命模型 | 第26-27页 |
| ·基于断裂力学参量的疲劳寿命模型 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 埋置空气隙柔性凸点结构设计与制备工艺探讨 | 第28-39页 |
| ·柔性凸点原型结构与工艺分析 | 第28-33页 |
| ·采用柔性层的柔性凸点结构 | 第28-30页 |
| ·采用柔软金属材料或特殊形状的柔性凸点结构 | 第30-31页 |
| ·海量引脚（SoL）柔性凸点结构 | 第31-33页 |
| ·埋置MEMS空气隙柔性凸点结构设计 | 第33-35页 |
| ·埋置MEMS空气隙柔性凸点结构设计原型 | 第33-34页 |
| ·埋置MEMS空气隙柔性凸点作用原理 | 第34-35页 |
| ·埋置MEMS空气隙柔性凸点结构技术特点 | 第35页 |
| ·埋置MEMS空气隙柔性凸点结构制备工艺探讨 | 第35-38页 |
| ·空气隙结构制备技术简介 | 第35-36页 |
| ·埋置MEMS空气隙柔性凸点结构制备工艺 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 埋置空气隙WLCSP器件焊点热疲劳可靠性仿真分析 | 第39-59页 |
| ·结构模型的建立及参数选择 | 第39-43页 |
| ·WLCSP DRAM测试芯片简介 | 第39-40页 |
| ·模型简化假设及实体模型的建立 | 第40-41页 |
| ·单元类型选择和材料属性定义 | 第41-42页 |
| ·网格划分 | 第42-43页 |
| ·模型的加载与求解 | 第43-45页 |
| ·边界约束条件的设置 | 第43-44页 |
| ·热循环载荷条件的加载 | 第44-45页 |
| ·计算结果及分析 | 第45-55页 |
| ·关键焊点位置应力应变分析 | 第45-47页 |
| ·应力分布规律及动态变化分析 | 第47-49页 |
| ·应变分布规律及动态变化特性分析 | 第49-53页 |
| ·焊点疲劳寿命预测 | 第53-55页 |
| ·结果对比分析 | 第55-58页 |
| ·传统刚性凸点结构结果对比分析 | 第55-56页 |
| ·底部填充刚性凸点结构结果对比分析 | 第56-57页 |
| ·其他柔性凸点结构结果对比分析 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 基于正交试验设计和子模型法的铜互连结构参数优化 | 第59-78页 |
| ·再分布铜互连结构应力应变分析 | 第59-61页 |
| ·基于子模型法的有限元仿真分析实现 | 第61-66页 |
| ·子模型法简介 | 第62-63页 |
| ·有限元分析子模型的建立 | 第63-64页 |
| ·循环加载条件下子模型分析的实现 | 第64-65页 |
| ·子模型分析条件的验证 | 第65-66页 |
| ·正交试验设计条件下铜互连结构参数优化 | 第66-73页 |
| ·正交试验设计简介 | 第66-67页 |
| ·基于正交表的铜互连结构参数组合设计 | 第67-68页 |
| ·基于正交试验设计的铜互连线应力、应变分析 | 第68-70页 |
| ·试验结果处理与分析 | 第70-73页 |
| ·多元二次回归分析及参数优化 | 第73-77页 |
| ·基于MINITAB的多元二次非线性回归分析 | 第73-76页 |
| ·基于MATLAB的结构参数优化 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第六章 总结与展望 | 第78-80页 |
| ·结论 | 第78-79页 |
| ·展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 作者在攻读硕士期间主要研究成果 | 第85页 |
