超声表面波（LSAWs）法表征low-k薄膜杨氏模量的快速实现
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 Low-k材料 | 第7-11页 |
| 1.1.1 Low-k材料现状 | 第7-8页 |
| 1.1.2 重要low-k材料介绍 | 第8-10页 |
| 1.1.3 Low-k薄膜结构和性能表征 | 第10-11页 |
| 1.2 Low-k薄膜杨氏模量的表征方法 | 第11-16页 |
| 1.2.1 超声表面波方法概述 | 第11-12页 |
| 1.2.2 LSAWs与纳米压痕法比较 | 第12-14页 |
| 1.2.3 LSAWs与椭偏测孔仪法比较 | 第14-16页 |
| 1.3 小结 | 第16-17页 |
| 第二章 表面波频散曲线的理论研究 | 第17-25页 |
| 2.1 薄膜参数对频散曲线的影响 | 第17-19页 |
| 2.2 表面波沿[100]晶向传播特性 | 第19-21页 |
| 2.3 双层膜材料的频散特性研究 | 第21-23页 |
| 2.4 小结 | 第23-25页 |
| 第三章 SAWs信号的激发与检测 | 第25-34页 |
| 3.1 表面波的激发 | 第25-28页 |
| 3.1.1 激发表面波的实验方法 | 第26-27页 |
| 3.1.2 激光聚焦线对表面波的影响 | 第27-28页 |
| 3.2 表面波的检测 | 第28-33页 |
| 3.2.1 压电探测器制作 | 第28-30页 |
| 3.2.2 表面波信号的检测 | 第30-32页 |
| 3.2.3 实验中存在的影响因素 | 第32-33页 |
| 3.3 小结 | 第33-34页 |
| 第四章 实验信号处理 | 第34-43页 |
| 4.1 表面波信号的处理过程 | 第34-39页 |
| 4.2 实验频散曲线分析 | 第39-40页 |
| 4.3 理论计算与实验频散曲线的匹配 | 第40-42页 |
| 4.4 小结 | 第42-43页 |
| 第五章 杨氏模量的匹配求值方法 | 第43-50页 |
| 5.1 杨氏模量的求值算法 | 第43-46页 |
| 5.2 快速匹配算法介绍 | 第46-49页 |
| 5.3 小结 | 第49-50页 |
| 第六章 图形用户界面设计 | 第50-57页 |
| 6.1 Matlab的GUI界面简介 | 第50-51页 |
| 6.2 利用向导GUIDE创建GUI | 第51-52页 |
| 6.3 LSAWs方法的图形化界面设计 | 第52-56页 |
| 6.4 小结 | 第56-57页 |
| 第七章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
