环氧树脂型探针卡的制作及高温测试关键技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题的研究背景 | 第8页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第8-12页 |
| 1.2.1 国内研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.2 国外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3 课题来源及主要研究工作 | 第12-14页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第12-13页 |
| 1.3.2 主要研究工作 | 第13-14页 |
| 第二章 探针卡的分类和比较 | 第14-22页 |
| 2.1 探针卡的接口方式 | 第14页 |
| 2.2 探针卡的分类和比较 | 第14-22页 |
| 2.2.1 刀片式探针卡 | 第14-15页 |
| 2.2.2 环氧树脂卡 | 第15-19页 |
| 2.2.3 垂直探针卡 | 第19-20页 |
| 2.2.4 探针卡的比较 | 第20-22页 |
| 第三章 环氧树脂型探针卡的制作流程 | 第22-32页 |
| 3.1 环氧树脂型探针卡的制作流程图 | 第22页 |
| 3.2 布局设计 | 第22-25页 |
| 3.3 聚酯薄膜打孔 | 第25页 |
| 3.4 弯针 | 第25-26页 |
| 3.5 探针投影 | 第26-27页 |
| 3.6 制作环状物和支架 | 第27页 |
| 3.7 摆针和烘烤 | 第27-29页 |
| 3.8 焊接 | 第29-30页 |
| 3.9 打磨 | 第30-31页 |
| 3.10 校准和显微镜检测 | 第31页 |
| 3.11 出货检测 | 第31-32页 |
| 第四章 环氧树脂型探针卡制作关键技术研究 | 第32-42页 |
| 4.1 针痕的控制 | 第32-34页 |
| 4.2 PCB 材料和设计的选择 | 第34-35页 |
| 4.3 漏电流 | 第35页 |
| 4.4 探针材料的选择 | 第35-36页 |
| 4.5 最大探针电流 | 第36-37页 |
| 4.6 接触电阻问题 | 第37-38页 |
| 4.7 触点压力 | 第38-39页 |
| 4.8 扫雪式针痕 | 第39-40页 |
| 4.9 可平面性 | 第40-42页 |
| 第五章 环氧树脂型探针卡针痕异常与高温测试研究 | 第42-53页 |
| 5.1 针痕异常研究 | 第42-46页 |
| 5.1.1 针痕错漏 | 第42-43页 |
| 5.1.2 针痕模糊 | 第43-44页 |
| 5.1.3 针痕移位 | 第44-45页 |
| 5.1.4 针尖损害 | 第45-46页 |
| 5.2 高温测试异常研究 | 第46-53页 |
| 第六章 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-55页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
