| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第7-9页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第7页 |
| 1.2 国内外研究发展现状 | 第7-8页 |
| 1.2.1 国外研究发展现状 | 第7-8页 |
| 1.2.2 国内研究发现现状 | 第8页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第8-9页 |
| 第二章 硅片传输机械手运动学建模与永磁交流同步电机模型分析 | 第9-17页 |
| 2.0 引言 | 第9页 |
| 2.1 硅片传输机械手构型的选择 | 第9页 |
| 2.2 R-θ 伸缩运动模型的建立 | 第9-11页 |
| 2.2.1 运动学方程 | 第11页 |
| 2.3 交流永磁同步电机及其矢量控制模型 | 第11-16页 |
| 2.3.1 交流永磁同步电机的数学模型 | 第11-13页 |
| 2.3.2 矢量控制策略 | 第13-16页 |
| 2.4 本章小结 | 第16-17页 |
| 第三章 硅片传输机械手控制策略研究与仿真分析 | 第17-42页 |
| 3.0 引言 | 第17页 |
| 3.1 控制对象分析 | 第17-18页 |
| 3.2 路径规划 | 第18-20页 |
| 3.3 轨迹规划 | 第20-24页 |
| 3.3.1 加速度为正弦函数的轨迹规划方法 | 第20-22页 |
| 3.3.2 加速度为梯形函数的轨迹规划方法 | 第22-24页 |
| 3.4 控制扰动分析及其控制策略 | 第24-26页 |
| 3.4.1 控制扰动分析 | 第24-25页 |
| 3.4.2 系统扰动控制策略 | 第25-26页 |
| 3.5 负载观测器设计 | 第26-28页 |
| 3.6 控制系统策略设计 | 第28-30页 |
| 3.6.1 控制系统总体框架设计 | 第28-29页 |
| 3.6.2 控制原理分析 | 第29-30页 |
| 3.7 仿真设计 | 第30-41页 |
| 3.7.1 电流环速度环仿真设计 | 第30-33页 |
| 3.7.2 控制系统联合仿真设计 | 第33-41页 |
| 3.8 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 控制系统的实现策略 | 第42-56页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 控制系统硬件设计 | 第42-47页 |
| 4.2.1 驱动控制板卡电路系统设计 | 第43页 |
| 4.2.2 DSP电路的实现 | 第43-44页 |
| 4.2.3 FPGA电路的实现 | 第44-46页 |
| 4.2.4 功率放大电路实现 | 第46-47页 |
| 4.2.5 位置检测电路实现 | 第47页 |
| 4.3 控制策略软件设计 | 第47-55页 |
| 4.3.0 控制软件框架 | 第47-48页 |
| 4.3.1 控制算法的实现及程序设计 | 第48-53页 |
| 4.3.2 测试校正应用程序设计 | 第53-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 实验结果与分析 | 第56-63页 |
| 5.1 引言 | 第56页 |
| 5.2 实验结果 | 第56-62页 |
| 5.2.1 硅片传输机械手单轴测试 | 第57-60页 |
| 5.2.2 硅片传输机械手重复性精度测试 | 第60-62页 |
| 5.3 实验结果分析 | 第62-63页 |
| 第六章 结论与展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 附录 | 第67-68页 |