基于机器视觉的晶圆定位系统研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题来源与研究意义 | 第9-10页 |
| ·课题来源 | 第9页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·研究意义 | 第10页 |
| ·机器视觉技术概述 | 第10-13页 |
| ·机器视觉技术发展历程与趋势 | 第10-12页 |
| ·机器视觉技术的应用 | 第12-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-15页 |
| ·视觉定位技术研究现状 | 第13页 |
| ·高性能运动控制系统的研究现状 | 第13-15页 |
| ·本课题研究的内容 | 第15-17页 |
| 第二章 晶圆定位系统设计 | 第17-33页 |
| ·系统组成以及设计原则 | 第17-18页 |
| ·晶圆定位系统组成 | 第17页 |
| ·系统设计原则 | 第17-18页 |
| ·视觉系统设计 | 第18-29页 |
| ·镜头 | 第18-23页 |
| ·CCD 相机 | 第23-25页 |
| ·光源 | 第25-29页 |
| ·运动控制系统设计 | 第29-32页 |
| ·运动控制卡 | 第29-31页 |
| ·电机 | 第31-32页 |
| ·伺服驱动器 | 第32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 视觉系统的标定 | 第33-38页 |
| ·相机基本模型 | 第33-34页 |
| ·坐标变换关系 | 第34-35页 |
| ·远心镜头相机模型标定 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 定位算法的研究 | 第38-55页 |
| ·定位标记的分类 | 第38-39页 |
| ·图像预处理 | 第39-41页 |
| ·边缘检测 | 第41-45页 |
| ·边缘检测算子 | 第42-44页 |
| ·边缘检测效果比较 | 第44-45页 |
| ·定位点提取 | 第45-52页 |
| ·连通区域分离 | 第46页 |
| ·直线边缘检测算法 | 第46-50页 |
| ·霍夫变换与最小二乘法相结合的检测算法 | 第50-52页 |
| ·定位点计算 | 第52页 |
| ·对位信息的计算 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 运动控制系统 | 第55-65页 |
| ·基于 CPCI 总线的运动控制板卡 | 第55-59页 |
| ·基于 CPCI 总线的运动控制卡硬件体系 | 第55-58页 |
| ·基于 CPCI 总线的运动控制卡软件体系 | 第58-59页 |
| ·晶圆定位平台 | 第59-62页 |
| ·定位平台机构 | 第60-61页 |
| ·驱动装置 | 第61页 |
| ·反馈装置 | 第61-62页 |
| ·运动控制系统人机交互界面 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第六章 实验结果与分析 | 第65-71页 |
| ·视觉系统标定实验 | 第65-66页 |
| ·直线检测算法检测精度实验 | 第66-68页 |
| ·晶圆定位系统定位实验 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第七章 总结与展望 | 第71-73页 |
| ·研究内容总结 | 第71-72页 |
| ·未来工作展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第77-79页 |
