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微互连焊点电迁移失效机理研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-18页
    1.1 课题背景及研究目的第9-10页
    1.2 国内外的研究现状第10-17页
        1.2.1 电迁移物理第10-11页
        1.2.2 电流载荷下焊点组织演化第11-13页
        1.2.3 晶粒取向对电迁移的影响机制第13-15页
        1.2.4 电迁移的数值模拟研究第15-17页
    1.3 本文的主要研究内容第17-18页
第2章 材料及实验方法第18-25页
    2.1 实验过程概述第18页
    2.2 实验材料、设备和试样制备第18-21页
        2.2.1 实验材料第18页
        2.2.2 实验设备第18-19页
        2.2.3 BGA 凸点试样的制备第19-20页
        2.2.4 Cu-钎料-Cu 三明治试样制备第20-21页
    2.3 实验方法第21-24页
        2.3.1 焊点电迁移失效研究第21页
        2.3.2 界面 IMC 厚度测量方法第21-22页
        2.3.3 EBSD 试样制备及测试第22-24页
    2.4 本章小结第24-25页
第3章 电热耦合场下 BGA 焊点失效分析第25-44页
    3.1 热载荷下焊点失效分析第25-29页
    3.2 电流载荷下焊点失效分析第29-43页
        3.2.1 电流载荷下焊点的组织演化第29-33页
        3.2.2 Kirkendall 空洞第33-35页
        3.2.3 金属间化合物生长动力学第35-41页
        3.2.4 富 Pb 相的重分布第41-43页
    3.3 本章小结第43-44页
第4章 无铅对接焊点电迁移失效分析第44-65页
    4.1 对接焊点组织及界面形貌第44-51页
        4.1.1 材料对组织的影响第44-47页
        4.1.2 晶粒特征分析第47-51页
    4.2 电流载荷下焊点微观组织演化第51-64页
        4.2.1 电迁移寿命第51页
        4.2.2 Sn0.7Cu 焊点电迁移失效第51-60页
        4.2.3 Sn3.0Ag0.5Cu 焊点电迁移失效第60-64页
    4.3 本章小结第64-65页
第5章 BGA 结构电迁移有限元模拟第65-81页
    5.1 电迁移数学模型第65-67页
    5.2 BGA 结构电迁移散度计算第67-80页
        5.2.1 BGA 结构模型第67-69页
        5.2.2 电迁移散度计算第69-74页
        5.2.3 材料的影响第74-75页
        5.2.4 引线尺寸影响第75-77页
        5.2.5 焊点尺寸的影响第77-80页
    5.3 本章小结第80-81页
结论第81-83页
参考文献第83-87页
攻读学位期间发表的学术论文第87-89页
致谢第89页

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