混成式准三维神经元探针阵列制备

摘要	第3-4页
Abstract	第4-5页
引言	第6-8页
第一章 绪论	第8-20页
第一节 生物学理论基础	第8-12页
第二节 神经元探针的应用	第12-13页
第三节 神经元探针的发展现状	第13-18页
第四节 小结	第18-20页
第二章 混成式准三维神经元探针阵列的设计	第20-30页
第一节 主流探针的技术分析	第20-21页
第二节 探针结构设计	第21-23页
第三节 制备方案设计	第23-29页
第四节 小结	第29-30页
第三章 混成式准三维神经元探针阵列的工艺制备	第30-55页
第一节 工艺流程介绍	第30-31页
第二节 倒焊互连工艺	第31-35页
第三节 分布切割工艺	第35-44页
第四节 金属电极的制备	第44-46页
第五节 绝缘层工艺	第46-51页
第六节 流片及封装结果	第51-54页
第七节 小结	第54-55页
第四章 混成式准三维神经元探针阵列的基本功能测试	第55-62页
第一节 生理盐水试验	第55-59页
第二节 生物在体实验	第59-61页
第三节 小结	第61-62页
第五章 总结与展望	第62-65页
第一节 总结	第62-63页
第二节 今后工作	第63-64页
第三节 展望	第64-65页
参考文献	第65-71页
致谢	第71-72页