多物理场下金属微互连结构的电迁移失效及数值模拟研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-27页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·电迁移的失效现象 | 第11-12页 |
| ·电迁移失效的驱动机制 | 第12-16页 |
| ·电子风力 | 第12-13页 |
| ·热迁移 | 第13-15页 |
| ·应力迁移 | 第15-16页 |
| ·化学迁移 | 第16页 |
| ·电迁移问题的研究现状 | 第16-25页 |
| ·互连引线的电迁移研究 | 第16-18页 |
| ·互连焊球的电迁移研究 | 第18-20页 |
| ·电迁移测试技术 | 第20-23页 |
| ·电迁移的数值技术 | 第23-24页 |
| ·国内电迁移问题的研究现状 | 第24-25页 |
| ·本文的研究意义和内容 | 第25-27页 |
| 第二章 原子通量散度有限元法的改进及应用 | 第27-47页 |
| ·电迁移的理论模型 | 第27-30页 |
| ·传统的原子通量散度有限元法 | 第30-32页 |
| ·改进的原子通量散度有限元法 | 第32-36页 |
| ·数值算例 | 第36-47页 |
| ·互连引线结构 | 第36-42页 |
| ·互连焊球结构 | 第42-47页 |
| 第三章 电迁移演化分析的原子浓度积分法 | 第47-69页 |
| ·电迁移的基本方程 | 第47-48页 |
| ·原子浓度重分布算法 | 第48-50页 |
| ·原子浓度重分布算法的实施 | 第50-54页 |
| ·单元质量矩阵 | 第51-52页 |
| ·单元刚度矩阵 | 第52-53页 |
| ·总体矩阵的组集 | 第53-54页 |
| ·空洞和小丘演化的有限元模拟 | 第54-55页 |
| ·空洞和小丘形成和扩展准则 | 第55页 |
| ·互连结构失效判据 | 第55-57页 |
| ·电迁移的灵敏度分析 | 第57-59页 |
| ·算法验证 | 第59-62页 |
| ·数值算例 | 第62-69页 |
| ·互连引线结构 | 第62-66页 |
| ·互连焊球结构 | 第66-69页 |
| 第四章 铝互连直线结构的电迁移试验与数值模拟 | 第69-87页 |
| ·电迁移试验 | 第69-79页 |
| ·试样制备 | 第69-71页 |
| ·SWEAT试验原理 | 第71-73页 |
| ·测试系统 | 第73-74页 |
| ·试验参数的确定 | 第74-75页 |
| ·试验结果 | 第75-79页 |
| ·数值模拟分析 | 第79-87页 |
| ·有限元模型 | 第79-80页 |
| ·电-热耦合分析和结构分析结果 | 第80-82页 |
| ·静态模拟结果 | 第82-83页 |
| ·动态模拟结果 | 第83-85页 |
| ·电迁移参数对电迁移的影响 | 第85-87页 |
| 第五章 铝互连通孔结构的电迁移试验与数值模拟 | 第87-99页 |
| ·电迁移试验 | 第87-93页 |
| ·试样制备 | 第87-88页 |
| ·试验结果 | 第88-91页 |
| ·激活能和电流密度指数的提取 | 第91-93页 |
| ·数值模拟分析 | 第93-99页 |
| 第六章 结论与展望 | 第99-101页 |
| ·结论 | 第99-100页 |
| ·创新点 | 第100页 |
| ·展望 | 第100-101页 |
| 参考文献 | 第101-107页 |
| 致谢 | 第107-109页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文和参加科研情况说明 | 第109页 |
