| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题研究背景 | 第9-11页 |
| ·半导体制造产业概述 | 第9-10页 |
| ·晶圆加工工艺及其复杂性 | 第10-11页 |
| ·课题研究目的和意义 | 第11页 |
| ·组合设备建模与调度问题概述 | 第11-14页 |
| ·组合设备 | 第11-12页 |
| ·组合设备建模与调度研究现状 | 第12-14页 |
| ·相关调度问题研究 | 第14页 |
| ·本文研究内容和组织结构 | 第14-15页 |
| ·研究内容 | 第14-15页 |
| ·组织结构 | 第15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 第二章 双臂组合设备终止暂态的Petri网建模与调度 | 第16-25页 |
| ·具有晶圆重入的终止暂态加工过程 | 第16-17页 |
| ·终止暂态加工过程描述 | 第16页 |
| ·晶圆重入加工流程模式 | 第16-17页 |
| ·Petri网 | 第17-19页 |
| ·有限资源赋时Petri网 | 第17-18页 |
| ·Petri网特性 | 第18-19页 |
| ·Petri网建模及 1-晶圆周期调度 | 第19-22页 |
| ·-晶圆优化调度及Petri网建模 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 具有重入加工的双臂组合设备终止暂态的加工时间分析 | 第25-36页 |
| ·基于 1-晶圆周期调度的分析 | 第25-29页 |
| ·机械手作业和系统状态描述 | 第25-26页 |
| ·终止暂态加工时间的分析 | 第26-29页 |
| ·基于 1-晶圆优化调度的分析 | 第29-35页 |
| ·机械手作业和系统状态描述 | 第29-31页 |
| ·终止暂态加工时间的分析及优化 | 第31-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 基于Plant Simulation的双臂组合设备终止暂态仿真模型 | 第36-46页 |
| ·离散事件系统概论 | 第36-37页 |
| ·离散事件系统 | 第36页 |
| ·离散事件系统仿真建模 | 第36-37页 |
| ·系统仿真平台Plant Simulation | 第37-38页 |
| ·建模特性 | 第37-38页 |
| ·基本建模对象 | 第38页 |
| ·基于 1-晶圆周期调度的仿真模型 | 第38-42页 |
| ·模型框架 | 第38-40页 |
| ·事件的触发与机械手的控制 | 第40-42页 |
| ·时间的输入与输出 | 第42页 |
| ·基于 1-晶圆优化调度的仿真模型 | 第42-45页 |
| ·模型构建 | 第42-43页 |
| ·事件触发与控制 | 第43-44页 |
| ·时间模拟 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 实例及优化 | 第46-51页 |
| ·例子 | 第46-50页 |
| ·例子 1 | 第46-47页 |
| ·例子 2 | 第47-48页 |
| ·例子 3 | 第48-49页 |
| ·例子 4 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第六章 总结与展望 | 第51-53页 |
| ·总结 | 第51页 |
| ·展望 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 附录 | 第56-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第62-63页 |
