划片机运动系统的设计及误差补偿
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第13-18页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第13页 |
| 1.2 划片机的发展现状 | 第13-15页 |
| 1.3 划片机运动系统介绍 | 第15-16页 |
| 1.3.1 运动机构 | 第15页 |
| 1.3.2 电气系统 | 第15页 |
| 1.3.3 控制系统 | 第15-16页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 运动系统结构设计 | 第18-26页 |
| 2.1 划片机划切工作原理 | 第18-19页 |
| 2.2 划片机运动系统结构概述 | 第19-20页 |
| 2.3 运动系统结构的主要结构设计 | 第20-25页 |
| 2.3.1 旋转轴结构设计 | 第20-21页 |
| 2.3.2 直线运动轴结构设计 | 第21-25页 |
| 2.3.3 床身设计 | 第25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 运动控制系统设计 | 第26-51页 |
| 3.1 控制系统硬件设计 | 第26-37页 |
| 3.1.1 控制系统总体结构 | 第26-27页 |
| 3.1.2 关键器件选型 | 第27-30页 |
| 3.1.3 运动模块电控设计 | 第30-32页 |
| 3.1.4 测高模块电控设计 | 第32-37页 |
| 3.2 控制系统软件设计 | 第37-44页 |
| 3.2.1 软件结构 | 第38页 |
| 3.2.2 编程语言 | 第38-39页 |
| 3.2.3 运动程序设计 | 第39-43页 |
| 3.2.4 操作界面 | 第43-44页 |
| 3.3 运动伺服控制 | 第44-50页 |
| 3.3.1 伺服控制原理 | 第44-45页 |
| 3.3.2 PID+前馈控制调试 | 第45-49页 |
| 3.3.3 调试结果分析 | 第49-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 运动系统误差分析及检测补偿 | 第51-68页 |
| 4.1 划片机运动系统误差分析 | 第51-56页 |
| 4.1.1 误差模型的特点和建立方法 | 第51-52页 |
| 4.1.2 误差矩阵法建立误差模型 | 第52-55页 |
| 4.1.3 误差辨识方案设计 | 第55-56页 |
| 4.2 运动系统主要误差检测补偿 | 第56-57页 |
| 4.2.1 主要误差因素分析 | 第56页 |
| 4.2.2 误差补偿方案设计 | 第56-57页 |
| 4.3 各轴误差检测 | 第57-60页 |
| 4.3.1 激光干涉仪测量原理 | 第57-58页 |
| 4.3.2 线性位移误差测量及分析 | 第58-59页 |
| 4.3.3 工作台平面度测量 | 第59-60页 |
| 4.4 各轴误差补偿 | 第60-64页 |
| 4.4.1 轴误差补偿原理 | 第60-62页 |
| 4.4.2 PMAC轴补偿 | 第62-64页 |
| 4.5 检测实验 | 第64-67页 |
| 4.5.1 测高模块精度稳定性测试 | 第64-66页 |
| 4.5.2 加工测试 | 第66-67页 |
| 4.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 总结与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
