碳纳米管在纳米集成电路互连线中的应用研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-12页 |
| 1.2 纳米互连线的挑战 | 第12-18页 |
| 1.2.1 纳米尺度铜互连线电阻率 | 第13-15页 |
| 1.2.2 纳米尺度铜互连线可靠性 | 第15-17页 |
| 1.2.3 纳米集成电路的热特性 | 第17-18页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第18-19页 |
| 参考文献 | 第19-22页 |
| 第二章 碳纳米管结构与特性 | 第22-40页 |
| 2.1 碳纳米管的结构 | 第22-26页 |
| 2.1.1 单壁碳纳米管 | 第22-24页 |
| 2.1.2 多壁碳纳米管 | 第24-25页 |
| 2.1.3 碳纳米纤维 | 第25-26页 |
| 2.2 碳纳米管的特性 | 第26-32页 |
| 2.2.1 能带结构与导电特性 | 第26-31页 |
| 2.2.2 结构及电、热稳定性 | 第31-32页 |
| 2.3 碳纳米管的制备 | 第32-35页 |
| 参考文献 | 第35-40页 |
| 第三章 单壁碳纳米管互连线 | 第40-68页 |
| 3.1 单根单壁碳纳米管建模 | 第40-48页 |
| 3.1.1 电阻模型 | 第40-44页 |
| 3.1.2 电容模型 | 第44-45页 |
| 3.1.3 电感模型 | 第45-48页 |
| 3.2 单壁碳纳米管束互连线建模 | 第48-54页 |
| 3.2.1 电阻模型 | 第48-50页 |
| 3.2.2 电容模型 | 第50-52页 |
| 3.2.3 电感模型 | 第52-53页 |
| 3.2.4 互连线等效电路模型 | 第53-54页 |
| 3.3 单壁碳纳米管互连线性能分析与比较 | 第54-63页 |
| 3.3.1 铜互连模型 | 第54-56页 |
| 3.3.2 电阻比较 | 第56-58页 |
| 3.3.3 互连线电路性能比较 | 第58-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 第四章 多壁碳纳米管互连线 | 第68-95页 |
| 4.1 多壁碳纳米管导电特性 | 第68-71页 |
| 4.2 多壁碳纳米管建模 | 第71-79页 |
| 4.2.1 大直径碳纳米管壁的导电通道 | 第71-73页 |
| 4.2.2 碳纳米管壁的R L C 模型 | 第73-76页 |
| 4.2.3 多壁碳纳米管互连线模型 | 第76-79页 |
| 4.3 多壁碳纳米管互连线性能分析与比较 | 第79-88页 |
| 4.3.1 电阻率比较 | 第81-82页 |
| 4.3.2 性能分析和比较 | 第82-86页 |
| 4.3.3 非理想接触电阻Rmc的影响 | 第86-87页 |
| 4.3.4 多壁碳纳米管模型与RC 时延模型 | 第87-88页 |
| 4.4 与单壁碳纳米管的性能比较 | 第88-91页 |
| 参考文献 | 第91-95页 |
| 第五章 总结与展望 | 第95-97页 |
| 致谢 | 第97-98页 |
| 攻读学位期间发表和撰写的学术论文 | 第98页 |
