FC3000芯片清洗机的传送系统开发
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外发展概况 | 第11-12页 |
| 1.3 本文的研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 总体升级改造方案 | 第13-20页 |
| 2.1 系统开发技术方案 | 第13-14页 |
| 2.2 系统开发介绍 | 第14-19页 |
| 2.2.1 系统的简述 | 第14-16页 |
| 2.2.2 模块改造的方案 | 第16-17页 |
| 2.2.3 控制原理图设计方案 | 第17-19页 |
| 2.3 本章小结 | 第19-20页 |
| 第三章 ACB芯片装载与存贮单元设计 | 第20-27页 |
| 3.1 结构改造设计 | 第20-23页 |
| 3.1.1 FOUP（SHELF）放置单元 | 第20-22页 |
| 3.1.2 BTR传送单元 | 第22页 |
| 3.1.3 FOUP装载传送单元 | 第22-23页 |
| 3.1.4 吞吐量的提升 | 第23页 |
| 3.2 电路连接方案 | 第23-26页 |
| 3.2.1 ACB整体框架的连接 | 第23页 |
| 3.2.2 系统I/O板信号地址 | 第23-24页 |
| 3.2.3 HLS终端电路改造 | 第24-26页 |
| 3.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 第四章 HTR机器手设计 | 第27-36页 |
| 4.1 TP-HTR的工作原理 | 第28-31页 |
| 4.1.1 上下驱动部分 | 第29-30页 |
| 4.1.2 旋转驱动部分 | 第30-31页 |
| 4.1.3 前后驱动部分 | 第31页 |
| 4.2. 电路连接方案 | 第31-33页 |
| 4.2.1 电路连接 | 第31-32页 |
| 4.2.2 伺服马达驱动单元 | 第32-33页 |
| 4.3 系统I/O板信号地址 | 第33-34页 |
| 4.3.1 输入输出地址设定 | 第33页 |
| 4.3.2 TP-HTR位置参数设定 | 第33-34页 |
| 4.4 改造后的速度提升 | 第34-35页 |
| 4.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第五章 HVC翻转器设计 | 第36-49页 |
| 5.1 旧型HVC存在的问题 | 第36-37页 |
| 5.2. 翻转机构的设计 | 第37-43页 |
| 5.2.1 连杆机构的缺陷及解决方案 | 第37-39页 |
| 5.2.2 翻转减速器的选型 | 第39-42页 |
| 5.2.3 谐波传动减速器的连接方式 | 第42-43页 |
| 5.3 伺服马达 | 第43-47页 |
| 5.3.1 伺服马达的改进 | 第43-44页 |
| 5.3.2 伺服马达的选型 | 第44-45页 |
| 5.3.3 伺服马达的参数校准 | 第45-47页 |
| 5.4 新型HVC的运转测试结果 | 第47-48页 |
| 5.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第六章 VME总线板的改造 | 第49-54页 |
| 6.1 VME总线特点及结构 | 第49-50页 |
| 6.2 VME升级的必要性 | 第50页 |
| 6.3 CPU模块的改造 | 第50-51页 |
| 6.4 VME总线板升级评估 | 第51-52页 |
| 6.5 VME数据备份与恢复 | 第52-53页 |
| 6.5.1 VME数据备份的方法 | 第52-53页 |
| 6.5.2 VME数据恢复的方法 | 第53页 |
| 6.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 第七章 全文总结 | 第54-55页 |
| 7.1 主要成果 | 第54页 |
| 7.2 本文创造性工作 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 附录 | 第57-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
