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芯片—各向异性导电胶膜—树脂基板超声互连工艺及机理研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-8页
目录第8-10页
第一章 绪论第10-21页
   ·各向异性导电胶膜的应用背景与特点第10-11页
   ·ACF互连器件的热压粘接工艺及其导电机理第11-13页
   ·影响ACF互连器件可靠性的主要因素第13-15页
     ·粘接工艺第13-14页
     ·各向异性导电胶膜的物理特性第14页
     ·热冲击与湿热环境第14-15页
   ·粘接界面的力学模型第15-18页
     ·内聚力模型的提出和发展第15-17页
     ·内聚力模型的研究现状与应用第17-18页
   ·超声振动在微电子封装技术中的应用现状第18-19页
   ·本文研究目的及主要内容第19-21页
     ·本文研究目的与意义第19-20页
     ·本文的研究内容第20-21页
第二章 ACF超声互连芯片与FR-4树脂基板的试验研究第21-35页
   ·ACF超声互连器件的基本原理第21-24页
     ·超声粘接的能量转换机理第21-23页
     ·ACF环氧树脂基体的固化机理第23-24页
   ·超声粘接试验系统第24-25页
   ·试验材料第25-26页
   ·超声互连的工艺过程第26-28页
   ·超声功率信号的采集与计算第28-31页
     ·超声功率信号的采集第28-29页
     ·超声粘接功率的计算第29-31页
   ·ACF超声互连器件粘接强度与固化率测试第31-34页
     ·ACF互连器件粘接强度的测试第31-32页
     ·ACF固化率的计算方法第32-34页
   ·本章小结第34-35页
第三章 超声工艺对ACF互连器件粘接强度及固化率的影响研究第35-49页
   ·超声粘接功率对ACF互连器件粘接强度及固化率的影响第35-38页
   ·超声粘接时间对ACF互连器件粘接强度及固化率的影响第38-40页
   ·粘接压力对ACF互连器件粘接强度及固化率的影响第40-43页
   ·基板温度对ACF互连器件粘接强度及固化率的影响第43-45页
   ·ACF固化率与超声工艺参数的关联模型第45-47页
   ·超声粘接与热压工艺下ACF互连器件粘接强度的比较第47页
   ·本章小结第47-49页
第四章 ACF互连器件剪切破坏过程的模拟第49-70页
   ·内聚力模型的内涵第49-52页
     ·双线性内聚力模型第49-51页
     ·指数型内聚力模型第51-52页
   ·基于指数型内聚力模型的VUMAT子程序开发第52-57页
     ·内聚力单元分析第53-54页
     ·指数型内聚力模型VUMAT子程序的实现流程第54-57页
   ·ACF互连器件剪切破坏试验及有限元模型的建立第57-60页
     ·ACF互连器件剪切破坏试验的载荷-位移曲线第57-59页
     ·ACF互连器件剪切破坏有限元模型的建立第59-60页
   ·内聚力模型计算模拟结果分析与讨论第60-65页
     ·双线性内聚力模型结果分析与讨论第60-62页
     ·指数型内聚力模型结果分析与讨论第62-64页
     ·双线性与指数型内聚力模型比较第64-65页
   ·超声粘接工艺参数与ACF互连器件界面内聚力参数的关联模型第65-69页
     ·超声粘接工艺参数与内聚强度的关系第66-67页
     ·超声粘接工艺参数与内聚能的关系第67-68页
     ·界面内聚力参数的有效性验证第68-69页
   ·本章小结第69-70页
第五章 总结与展望第70-72页
   ·本文的研究工作及结论第70-71页
   ·下一步工作的建议及展望第71-72页
参考文献第72-77页
致谢第77-78页
攻读硕士学位期间的研究成果第78页
攻读硕士学位期间参加的科研项目情况第78页

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