PdPc-PANI杂化有机半导体膜及气敏机理的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| ·国内外发展概况 | 第12-17页 |
| ·气体传感器发展历程 | 第12-15页 |
| ·气体传感器的分类 | 第15-17页 |
| ·气体传感器核心－气敏材料发展概况 | 第17-23页 |
| ·酞菁材料及其应用与前景 | 第19-21页 |
| ·聚苯胺材料及其应用 | 第21-23页 |
| ·微结构气体传感器 | 第23-26页 |
| ·研究的目的意义 | 第26-27页 |
| ·本文主要内容 | 第27-28页 |
| 第2章 材料合成及传感器制作 | 第28-42页 |
| ·酞菁钯的合成 | 第28-33页 |
| ·合成过程 | 第28-30页 |
| ·产物表征及分析 | 第30-33页 |
| ·高氯酸掺杂聚苯胺的合成 | 第33-34页 |
| ·传感器芯片电极设计与制作 | 第34-37页 |
| ·电极结构设计 | 第34-35页 |
| ·平板电极制作工艺 | 第35-37页 |
| ·薄膜制备工艺 | 第37-39页 |
| ·传感器成膜封装 | 第39-40页 |
| ·气敏测试系统 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 敏感性能分析 | 第42-52页 |
| ·涂膜气敏传感器特性分析 | 第42-48页 |
| ·初期稳定性 | 第42页 |
| ·PdPc 气体传感器灵敏度特性 | 第42-43页 |
| ·HC104掺杂 PANI 气体传感器灵敏度特性 | 第43页 |
| ·复合膜的灵敏度特性 | 第43-46页 |
| ·掺杂比例x 对灵敏度的影响 | 第46-48页 |
| ·蒸发镀膜气敏传感器特性分析 | 第48-51页 |
| ·膜厚分析及其对灵敏度的影响 | 第48页 |
| ·蒸发镀膜器件初期稳定性 | 第48-50页 |
| ·蒸发镀膜器件灵敏度特性 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 膜表征及敏感机理探讨 | 第52-67页 |
| ·膜生长机理 | 第52-53页 |
| ·酞菁敏感机理 | 第53-59页 |
| ·PdPc 微观形貌 | 第53-56页 |
| ·酞菁导电机理 | 第56-57页 |
| ·酞菁配合物气敏性的影响因素 | 第57-59页 |
| ·聚苯胺敏感机理 | 第59-63页 |
| ·HC104掺杂 PANI 微观形貌 | 第59-61页 |
| ·PANI 导电机理 | 第61-63页 |
| ·成膜方式对气敏性的影响 | 第63-64页 |
| ·掺杂对气敏性的影响 | 第64页 |
| ·器件结构及检测方式的影响 | 第64-65页 |
| ·前景展望 | 第65-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
