| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 引言 | 第9-15页 |
| 1.1 电子束曝光技术发展概述 | 第9-13页 |
| 1.2 Monte Carlo模拟计算方法概述 | 第13-14页 |
| 1.3 问题的提出和本文的主要工作 | 第14-15页 |
| 第二章 电子与固体相互作用的原理 | 第15-24页 |
| 2.1 电子束曝光方法 | 第15-16页 |
| 2.2 电子在固体中的散射 | 第16-17页 |
| 2.2.1 弹性散射 | 第16页 |
| 2.2.2 非弹性散射 | 第16-17页 |
| 2.3 电子散射的物理模型 | 第17-24页 |
| 2.3.1 弹性散射的物理模型 | 第17-20页 |
| 2.3.2 非弹性散射的物理模型 | 第20-24页 |
| 第三章 用Monte Carlo方法模拟低能电子在PMMA中的散射 | 第24-39页 |
| 3.1 物理模型的确定 | 第25-29页 |
| 3.1.1 弹性散射的物理模型 | 第25-27页 |
| 3.1.2 非弹性散射的物理模型 | 第27-29页 |
| 3.2 电子在介质中散射过程的Monte Carlo模拟 | 第29-34页 |
| 3.2.1 电子在单一元素介质中散射的模拟 | 第29-30页 |
| 3.2.2 电子在多元介质中散射的模拟 | 第30-31页 |
| 3.2.3 电子穿越不同介质交界面的情况 | 第31-32页 |
| 3.2.4 散射电子空间输运的坐标转换 | 第32-34页 |
| 3.3 电子能量损失分布的计算 | 第34-37页 |
| 3.3.1 沉积能体密度 | 第35页 |
| 3.3.2 沉积能面密度 | 第35-36页 |
| 3.3.3 沉积能深度分布 | 第36-37页 |
| 3.3.4 电子在PMMA中散射的横向作用范围 | 第37页 |
| 3.4 电子散射的模拟过程 | 第37-39页 |
| 第四章 电子在PMMA中沉积能量分布的Monte Carlo模拟 | 第39-61页 |
| 4.1 入射束能和胶层厚度对沉积能分布的影响 | 第39-49页 |
| 4.1.1 入射束能对沉积能分布的影响 | 第39-41页 |
| 4.1.2 前散射电子和背散射电子对能量沉积的贡献 | 第41-45页 |
| 4.1.3 胶层厚度对沉积能分布的影响 | 第45-47页 |
| 4.1.4 最佳束能和胶厚的优化理论 | 第47-49页 |
| 4.2 基于两种不同理论阻止本领计算的沉积能分布 | 第49-61页 |
| 4.2.1 背散射系数的比较 | 第49-50页 |
| 4.2.2 沉积能深度分布的差异 | 第50-52页 |
| 4.2.3 沉积能面密度的差异 | 第52-54页 |
| 4.2.4 沉积能体密度的差异 | 第54-58页 |
| 4.2.5 两种理论阻止本领下前散射电子和背散射电子对胶中沉积能贡献的比较 | 第58-60页 |
| 4.2.6 结论 | 第60-61页 |
| 总结 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第67页 |
