三维集成电路热问题的不确定性分析方法研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| CONTENTS | 第11-14页 |
| 图目录 | 第14-16页 |
| 表目录 | 第16-18页 |
| 主要符号表 | 第18-20页 |
| 1 绪论 | 第20-33页 |
| 1.1 课题背景与研究意义 | 第20-23页 |
| 1.2 3D IC的研究进展 | 第23-28页 |
| 1.3 区间分析的研究进展 | 第28-29页 |
| 1.4 热传导反演分析的研究进展 | 第29-32页 |
| 1.5 本文主要研究思路与内容 | 第32-33页 |
| 2 区间分析基本理论 | 第33-44页 |
| 2.1 引言 | 第33页 |
| 2.2 不确定性的分类 | 第33页 |
| 2.3 区间分析理论 | 第33-37页 |
| 2.3.1 区间分析的基本概念 | 第33-34页 |
| 2.3.2 区间分析的运算规则 | 第34-35页 |
| 2.3.3 区间向量与区间矩阵 | 第35-37页 |
| 2.4 区间有限元法 | 第37-42页 |
| 2.4.1 区间有限元法 | 第37-38页 |
| 2.4.2 区间摄动法 | 第38-41页 |
| 2.4.3 基于单元的区间摄动法 | 第41-42页 |
| 2.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 3 3D IC热力耦合问题确定性分析 | 第44-64页 |
| 3.1 引言 | 第44页 |
| 3.2 3D IC热力耦合分析 | 第44-51页 |
| 3.2.1 有限元模型 | 第45-47页 |
| 3.2.2 仿真结果及分析 | 第47-49页 |
| 3.2.3 结论 | 第49-51页 |
| 3.3 3D IC中各参数的影响 | 第51-62页 |
| 3.3.1 有限元模型 | 第51-52页 |
| 3.3.2 热应力分布 | 第52-54页 |
| 3.3.3 TSV影响 | 第54-56页 |
| 3.3.4 BCB厚度影响 | 第56-58页 |
| 3.3.5 BEOL热传导率影响 | 第58页 |
| 3.3.6 互联层数目影响 | 第58-60页 |
| 3.3.7 硅层厚度影响 | 第60页 |
| 3.3.8 面对面与面对背键合方式比较 | 第60-62页 |
| 3.3.9 结论 | 第62页 |
| 3.4 本章小结 | 第62-64页 |
| 4 传热问题不确定性分析 | 第64-95页 |
| 4.1 引言 | 第64-65页 |
| 4.2 稳态传热区间分析 | 第65-78页 |
| 4.2.1 稳态热传导控制方程 | 第65-66页 |
| 4.2.2 区间有限元列式 | 第66-67页 |
| 4.2.3 算例 | 第67-77页 |
| 4.2.4 结论 | 第77-78页 |
| 4.3 瞬态传热区间分析 | 第78-86页 |
| 4.3.1 瞬态热传导控制方程 | 第78页 |
| 4.3.2 区间有限元列式 | 第78-79页 |
| 4.3.3 时域离散列式 | 第79-82页 |
| 4.3.4 算例 | 第82-85页 |
| 4.3.5 结论 | 第85-86页 |
| 4.4 双曲传热区间分析 | 第86-93页 |
| 4.4.1 双曲热传导控制方程 | 第86页 |
| 4.4.2 区间有限元列式 | 第86-87页 |
| 4.4.3 时域离散列式 | 第87-89页 |
| 4.4.4 算例 | 第89-93页 |
| 4.4.5 结论 | 第93页 |
| 4.5 本章小结 | 第93-95页 |
| 5 传热问题区间反演分析 | 第95-124页 |
| 5.1 引言 | 第95页 |
| 5.2 稳态传热区间反演 | 第95-102页 |
| 5.2.1 正演模型 | 第95-96页 |
| 5.2.2 反演模型 | 第96-97页 |
| 5.2.3 算例 | 第97-102页 |
| 5.2.4 结论 | 第102页 |
| 5.3 瞬态传热区间反演 | 第102-110页 |
| 5.3.1 正演模型 | 第102-104页 |
| 5.3.2 反演模型 | 第104-106页 |
| 5.3.3 算例 | 第106-110页 |
| 5.3.4 结论 | 第110页 |
| 5.4 双曲传热区间反演 | 第110-123页 |
| 5.4.1 正演模型 | 第111-113页 |
| 5.4.2 反演模型 | 第113-116页 |
| 5.4.3 算例 | 第116-122页 |
| 5.4.4 结论 | 第122-123页 |
| 5.5 本章小结 | 第123-124页 |
| 6 结论与展望 | 第124-127页 |
| 6.1 结论 | 第124-125页 |
| 6.2 创新点 | 第125页 |
| 6.3 展望 | 第125-127页 |
| 参考文献 | 第127-135页 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 | 第135-136页 |
| 致谢 | 第136-137页 |
| 作者简介 | 第137页 |
