| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 符号说明 | 第12-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-27页 |
| ·课题研究背景 | 第14-15页 |
| ·CMP技术 | 第15-17页 |
| ·CMP工艺参数 | 第17-21页 |
| ·输入参数 | 第17-19页 |
| ·输出参数 | 第19-21页 |
| ·国内外关于CMP的研究进展 | 第21-24页 |
| ·课题研究的目的与意义 | 第24-25页 |
| ·研究方法与研究内容 | 第25-26页 |
| ·研究方法 | 第25页 |
| ·研究内容 | 第25-26页 |
| ·本文主要工作 | 第26-27页 |
| 第2章 CMP中抛光液流体动压润滑数值分析 | 第27-61页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·抛光垫与晶片的三种接触方式 | 第27-29页 |
| ·流体润滑理论 | 第29页 |
| ·流体润滑基本方程 | 第29-31页 |
| ·抛光液流体动压润滑的基本假设 | 第31页 |
| ·抛光液流体动压润滑的雷诺方程 | 第31-37页 |
| ·抛光液膜几何方程 | 第37-39页 |
| ·载荷平衡方程 | 第39-41页 |
| ·雷诺方程的数值解法 | 第41-42页 |
| ·流体动压润滑仿真设计及其流程图 | 第42-43页 |
| ·CMP中抛光液膜的数值计算参数 | 第43-44页 |
| ·CMP中抛光液膜的数值计算结果 | 第44-59页 |
| ·晶片倾斜角与抛光液膜压力分布关系 | 第44-46页 |
| ·晶片倾斜角与抛光液膜负荷力、最小液膜厚度的关系 | 第46-49页 |
| ·晶片倾斜角和液膜压力产生力矩的关系 | 第49-50页 |
| ·晶片变形量与抛光液膜压力分布关系 | 第50-52页 |
| ·抛光载荷与抛光液膜压力分布关系 | 第52-54页 |
| ·抛光载荷与最小液膜厚度、晶片倾斜角的关系 | 第54-56页 |
| ·抛光转速与抛光液膜压力分布关系 | 第56-57页 |
| ·抛光转速与最小液膜厚度、晶片倾斜角的关系 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第3章 CMP中抛光液混合润滑数值分析 | 第61-87页 |
| ·引言 | 第61-62页 |
| ·粗糙表面下的部分膜润滑的分析方法 | 第62页 |
| ·粗糙度模式下的平均雷诺方程 | 第62-63页 |
| ·表面方向参数 | 第63-64页 |
| ·流量因子 | 第64-68页 |
| ·压力流量因子 | 第64-66页 |
| ·剪切流量因子 | 第66-68页 |
| ·抛光液在柱形坐标下的平均REYNOLDS方程 | 第68-69页 |
| ·抛光液膜厚的几何方程 | 第69-72页 |
| ·CMP中抛光液膜的载荷平衡方程 | 第72-73页 |
| ·抛光液膜部分流体润滑的数值设计 | 第73-75页 |
| ·抛光液膜部分流体润滑的数值计算参数 | 第75页 |
| ·抛光液膜部分流体润滑的数值计算结果 | 第75-85页 |
| ·粗糙度对液膜压力的分布的影响 | 第75-77页 |
| ·不同粗糙度下,抛光载荷与平均液膜厚度的关系 | 第77-78页 |
| ·不同粗糙度下,抛光载荷与晶片倾斜角的关系 | 第78-79页 |
| ·不同粗糙度下,抛光转速与平均液膜厚度的关系 | 第79-80页 |
| ·不同粗糙度下,抛光转速与晶片倾斜角的关系 | 第80-81页 |
| ·晶片变形量对液膜压力的分布的影响 | 第81-82页 |
| ·不同粗糙度和晶片变形量下,抛光载荷与平均液膜厚度的关系 | 第82-83页 |
| 3 11.8 不同粗糙度和晶片变形量下,抛光载荷与晶片倾斜角的关系 | 第83-84页 |
| ·仿真结果的正确性 | 第84-85页 |
| ·本章小结 | 第85-87页 |
| 第4章 激光诱导荧光检测技术和实验台的建立 | 第87-98页 |
| ·引言 | 第87页 |
| ·激光诱导荧光概述(LIF) | 第87-88页 |
| ·激光诱导荧光(LIF)的测量原理 | 第88页 |
| ·荧光强度的影响因素 | 第88-90页 |
| ·荧光强度的影响因素 | 第88-89页 |
| ·荧光比技术 | 第89-90页 |
| ·激光诱导荧光(LIF)技术在CMP中的应用 | 第90-91页 |
| ·LIF实验装置 | 第91-95页 |
| ·抛光机和抛光液传输系统 | 第91-93页 |
| ·双CCD荧光接收系统 | 第93-94页 |
| ·图像处理系统 | 第94-95页 |
| ·LIF实验装置图 | 第95-96页 |
| ·激发光源与荧光染料的选择 | 第96-97页 |
| ·激发光源 | 第96页 |
| ·荧光染料 | 第96-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 第5章 实验结果和讨论 | 第98-108页 |
| ·引言 | 第98页 |
| ·荧光浓度的确定 | 第98-99页 |
| ·抛光液膜厚特性的可视化实验设计 | 第99-100页 |
| ·荧光强度和抛光液膜厚度校准曲线 | 第100-101页 |
| ·抛光载荷对液膜厚度的影响 | 第101-103页 |
| ·抛光转速对液膜厚度的影响 | 第103-104页 |
| ·计算数据与实验数据的比较 | 第104-106页 |
| ·本章小结 | 第106-108页 |
| 第6章 结论与展望 | 第108-111页 |
| ·结论 | 第108-109页 |
| ·展望 | 第109-111页 |
| 参考文献 | 第111-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第120页 |