固晶机吸晶过程的数值模拟与优化
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-14页 |
| ·课题的背景及意义 | 第10-11页 |
| ·课题研究现状 | 第11-12页 |
| ·课题的研究内容及主要贡献 | 第12-13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 第2章 系统模块及方法简析 | 第14-21页 |
| ·简介 | 第14-15页 |
| ·机械模块 | 第14-15页 |
| ·吸晶过程 | 第15页 |
| ·模型分析方法概述 | 第15-18页 |
| ·静态分析 | 第16-17页 |
| ·动态分析 | 第17-18页 |
| ·田口方法 | 第18-20页 |
| ·正交数组介绍 | 第18-19页 |
| ·分析途径 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 吸晶过程的模拟解析 | 第21-33页 |
| ·静态分析 | 第21-28页 |
| ·静态分析的临界阶段 | 第21-22页 |
| ·过程参数与正交矩阵 | 第22-23页 |
| ·动态影响转换 | 第23-24页 |
| ·有限元分析 | 第24-28页 |
| ·动态分析 | 第28-32页 |
| ·粘接强度评估 | 第28-29页 |
| ·有限元分析 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第4章 仿真结果及讨论 | 第33-53页 |
| ·静态分析结果 | 第33-36页 |
| ·阶段 Ⅰ | 第33-34页 |
| ·阶段 Ⅱ | 第34页 |
| ·静态晶片破损评估 | 第34-36页 |
| ·动态分析结果 | 第36-39页 |
| ·晶片的形变与应力分布 | 第36-38页 |
| ·动态影响 | 第38-39页 |
| ·胶带的剥离现象 | 第39页 |
| ·正交试验仿真结果 | 第39-40页 |
| ·研究存在的问题分析 | 第40-52页 |
| ·网格敏感度 | 第40-44页 |
| ·参数间的相互作用 | 第44-50页 |
| ·胶带的穿透测试 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 吸晶过程顶出结构的参数优化 | 第53-65页 |
| ·砷化镓材料破损机制 | 第53-54页 |
| ·建立优化数学模型 | 第54-57页 |
| ·顶出结构的运动特性分析 | 第54页 |
| ·选择设计变量 | 第54-55页 |
| ·建立目标函数 | 第55-57页 |
| ·过程参数及其影响效应 | 第57-61页 |
| ·顶针速度对晶圆破损产生的影响 | 第57-58页 |
| ·顶针最大高度对晶圆破损产生的影响 | 第58-59页 |
| ·弹簧初始力对晶圆破损产生的影响 | 第59页 |
| ·胶带粘着力对晶圆破损产生的影响 | 第59-60页 |
| ·胶带初始扩张力对晶圆破损产生的影响 | 第60-61页 |
| ·摩擦力对晶圆破损产生的影响 | 第61页 |
| ·优化方法与优化结果 | 第61-64页 |
| ·遗传算法实现 | 第61-63页 |
| ·约束条件 | 第63-64页 |
| ·优化结果 | 第64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第6章 结论与展望 | 第65-67页 |
| ·结论 | 第65-66页 |
| ·展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
