| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-24页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第11-14页 |
| 1.2 微流道散热研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3 微泵研究现状 | 第16-22页 |
| 1.3.1 微泵的分类 | 第17-18页 |
| 1.3.2 有阀压电微泵 | 第18-20页 |
| 1.3.3 无阀压电微泵 | 第20-21页 |
| 1.3.4 无阀压电微泵的应用 | 第21-22页 |
| 1.4 论文研究内容和章节安排 | 第22-24页 |
| 1.4.1 本文的主要内容 | 第22-23页 |
| 1.4.2 章节安排 | 第23-24页 |
| 第二章 扩张/收缩管无阀压电微泵仿真设计 | 第24-44页 |
| 2.1 数值计算方法 | 第24-25页 |
| 2.1.1 数值计算的意义 | 第24页 |
| 2.1.2 COMSOLMultiphysics简介 | 第24-25页 |
| 2.2 扩张/收缩管无阀微泵原理分析 | 第25-28页 |
| 2.3 压电振子仿真研究 | 第28-30页 |
| 2.4 圆锥型无阀微泵的COMSOL仿真 | 第30-39页 |
| 2.4.1 仿真建模流程 | 第30-32页 |
| 2.4.2 微泵内部流体状态分析 | 第32-35页 |
| 2.4.3 电压对微泵流量的影响 | 第35-36页 |
| 2.4.4 无阀微泵几何结构参数仿真结果 | 第36-39页 |
| 2.5 扁平型扩张/收缩管无阀微泵的研究 | 第39-43页 |
| 2.5.1 仿真建模流程 | 第39-41页 |
| 2.5.2 不同几何结构参数下的仿真结果 | 第41-43页 |
| 2.6 本章小结 | 第43-44页 |
| 第三章 扩张/收缩管无阀压电微泵的制备 | 第44-51页 |
| 3.1 圆锥型扩张/收缩管无阀微泵的制备 | 第44-46页 |
| 3.1.1 微泵泵体的制作 | 第45页 |
| 3.1.2 微泵的装配 | 第45-46页 |
| 3.2 扁平型扩张/收缩管无阀压电微泵的制备 | 第46-49页 |
| 3.1.1 微泵泵体的制作 | 第47-49页 |
| 3.1.2 微泵的封装 | 第49页 |
| 3.3 本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 微流道散热器的的设计与制备 | 第51-60页 |
| 4.1 微流道散热器的散热性能研究 | 第51-55页 |
| 4.1.1 微流道散热器模型简介 | 第51-52页 |
| 4.1.2 微流道散内部流体仿真 | 第52-53页 |
| 4.1.3 微流道散热器散热性能的仿真 | 第53-55页 |
| 4.2 微流道散热器和模拟热源的制备 | 第55-59页 |
| 4.2.1 微流道散热器的制备 | 第56-57页 |
| 4.2.2 模拟热源的制备 | 第57-59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 微泵驱动的微流道散热系统 | 第60-67页 |
| 5.1 微泵实验结果分析 | 第60-64页 |
| 5.1.1 实验平台和测试方法 | 第60-61页 |
| 5.1.2 圆锥型扩张/收缩管无阀压电微泵实验结果分析 | 第61-63页 |
| 5.1.3 扁平型扩张/收缩管无阀压电微泵实验结果分析 | 第63-64页 |
| 5.2 微泵驱动微流道散热器散热系统 | 第64-66页 |
| 5.2.1 微流道实验系统搭建 | 第64-65页 |
| 5.2.2 实验测试和结果分析 | 第65-66页 |
| 5.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 结论和展望 | 第67-69页 |
| 6.1 结论 | 第67-68页 |
| 6.2 展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻读硕士学位期间取得的科研成果 | 第75页 |
