| 摘要 | 第6-8页 |
| abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 气动技术的概述 | 第12页 |
| 1.2 气动技术的发展历史 | 第12页 |
| 1.3 气动技术的发展趋势 | 第12-13页 |
| 1.4 气动技术的优缺点 | 第13-14页 |
| 1.5 气动伺服技术的发展历程 | 第14页 |
| 1.6 气动伺服技术的发展趋势 | 第14-15页 |
| 1.7 硅晶片抛光机的工作原理 | 第15-17页 |
| 1.8 硅晶片抛光机的气动加载系统的工作原理 | 第17-18页 |
| 1.9 气动力控制的研究现状 | 第18-19页 |
| 1.10 本课题的研究意义 | 第19-20页 |
| 1.11 论文的主要内容 | 第20-22页 |
| 第二章 气动加载系统的设计 | 第22-32页 |
| 2.1 气动加载系统的初步设计 | 第22-24页 |
| 2.2 气动加载系统的元件选择 | 第24-31页 |
| 2.2.1 气动加载系统的执行元件 | 第24-25页 |
| 2.2.2 气动加载系统的控制元件 | 第25-28页 |
| 2.2.3 气动加载系统的反馈检测器 | 第28-29页 |
| 2.2.4 气动加载系统的气源 | 第29-31页 |
| 2.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 气动加载系统的特性研究 | 第32-48页 |
| 3.1 工作介质的特性分析 | 第32-33页 |
| 3.2 气动加载系统的电气比例阀的特性分析 | 第33-41页 |
| 3.3 气缸运动的非线性特性分析 | 第41-47页 |
| 3.3.1 气缸的摩擦力分析 | 第41-42页 |
| 3.3.2 气缸产生爬行的机理分析 | 第42-43页 |
| 3.3.3 气缸产生爬行现象的临界速度的确定 | 第43-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 气动加载系统的数学建模 | 第48-81页 |
| 4.1 数学建模的概念 | 第48页 |
| 4.2 气动加载系统的数学模型的建立 | 第48-80页 |
| 4.2.1 气缸的流量连续性方程 | 第48-55页 |
| 4.2.2 气缸力平衡方程 | 第55-56页 |
| 4.2.3 气动加载系统的传递函数 | 第56-71页 |
| 4.2.4 气动加载系统的具体参数与数学模型 | 第71-76页 |
| 4.2.5 气动加载系统的特性分析 | 第76-77页 |
| 4.2.6 气动加载系统的稳定性分析 | 第77-80页 |
| 4.3 本章小结 | 第80-81页 |
| 第五章 气动加载系统的控制策略设计和仿真 | 第81-98页 |
| 5.1 气动加载系统的仿真 | 第81-82页 |
| 5.2 气缸摩擦力的补偿 | 第82-86页 |
| 5.3 PID控制的气动加载系统的仿真分析 | 第86-88页 |
| 5.4 模糊PID控制的气动加载系统的仿真分析 | 第88-97页 |
| 5.5 本章小结 | 第97-98页 |
| 第六章 总结与展望 | 第98-100页 |
| 6.1 总结 | 第98-99页 |
| 6.2 展望 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-104页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及取得的相关科研成果 | 第104-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |