| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第11页 |
| 1.2 六自由度测量方法国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.1 激光干涉测量法 | 第12页 |
| 1.2.2 全息技术测量法 | 第12页 |
| 1.2.3 光斑位置检测法 | 第12-13页 |
| 1.2.4 其他六自由度测量方法 | 第13页 |
| 1.3 六自由度测量方法的选取分析 | 第13-14页 |
| 1.4 基于 PSD 的位移测量方法现状分析 | 第14-17页 |
| 1.4.1 PSD 的发展历史及分类 | 第14-15页 |
| 1.4.2 PSD 测量位移的方法 | 第15-17页 |
| 1.5 基于 PSD 的六自由度测量方法的选取分析 | 第17-18页 |
| 1.6 课题的主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 基于 PSD 和角锥棱镜的位移测量原理 | 第19-34页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 PSD 和角锥棱镜的工作原理 | 第19-27页 |
| 2.2.1 PSD 的基本工作原理 | 第19-25页 |
| 2.2.2 理想角锥棱镜的工作原理 | 第25-27页 |
| 2.3 基于 PSD 和角锥棱镜的六自由度测量原理 | 第27-31页 |
| 2.4 二维检测系统的总体结构和指标的确定 | 第31-33页 |
| 2.4.1 系统的总体结构 | 第31页 |
| 2.4.2 系统指标的确定 | 第31-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 二维检测系统的误差分析与抑制方法研究 | 第34-52页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 系统的误差分析 | 第34-41页 |
| 3.2.1 光源部分的误差 | 第34-37页 |
| 3.2.2 角锥棱镜部分的误差 | 第37-39页 |
| 3.2.3 PSD 部分的误差 | 第39-41页 |
| 3.3 系统中误差的抑制方法 | 第41-51页 |
| 3.3.1 PSD 安装倾斜误差的抑制方法 | 第41-46页 |
| 3.3.2 光源漂移误差的补偿方法 | 第46-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 二维检测系统的设计与实现 | 第52-66页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 光学器件的选型 | 第52-54页 |
| 4.2.1 二维 PSD 的选型 | 第52-53页 |
| 4.2.2 激光二极管光源的选型 | 第53-54页 |
| 4.2.3 角锥棱镜的选型 | 第54页 |
| 4.3 系统的硬件电路设计 | 第54-60页 |
| 4.3.1 二维 PSD 的信号调理电路 | 第55-58页 |
| 4.3.2 激光二极管光源的驱动电路 | 第58-60页 |
| 4.4 数据采集和处理的软件设计 | 第60-63页 |
| 4.4.1 A/D 采集卡程序的设计 | 第60-62页 |
| 4.4.2 数据处理程序的设计 | 第62-63页 |
| 4.5 系统的机械结构设计 | 第63-64页 |
| 4.5.1 光纤支座和 PSD 固定件设计 | 第63-64页 |
| 4.5.2 角锥棱镜安装零件及固定盖 | 第64页 |
| 4.6 系统的搭建与实现 | 第64页 |
| 4.7 本章小结 | 第64-66页 |
| 第5章 实验及分析 | 第66-76页 |
| 5.1 引言 | 第66页 |
| 5.2 实验方案设计 | 第66-67页 |
| 5.2.1 应用电控位移台的实验方案 | 第66-67页 |
| 5.2.2 应用压电陶瓷的实验方案 | 第67页 |
| 5.3 二维检测系统实验 | 第67-73页 |
| 5.3.1 稳定性实验 | 第67-69页 |
| 5.3.2 线性度及测量范围实验 | 第69页 |
| 5.3.3 分辨力实验 | 第69-72页 |
| 5.3.4 重复性实验 | 第72页 |
| 5.3.5 频响实验 | 第72-73页 |
| 5.4 实验结果分析及后期改进建议 | 第73-75页 |
| 5.5 本章小结 | 第75-76页 |
| 结论 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及其它成果 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |