倒装芯片键合机精度优化设计方法研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| §1.1 课题研究的背景及意义 | 第8-9页 |
| §1.1.1 课题研究背景 | 第8页 |
| §1.1.2 课题研究意义 | 第8-9页 |
| §1.2 精度设计国内外相关研究现状 | 第9-12页 |
| §1.2.1 精度分析研究现状 | 第9-10页 |
| §1.2.2 精度分配研究现状 | 第10-12页 |
| §1.3 课题来源和本文主要研究内容 | 第12-14页 |
| §1.3.1 课题来源 | 第12-13页 |
| §1.3.2 本文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 倒装芯片键合机结构及误差分析 | 第14-21页 |
| §2.1 倒装芯片键合机的系统组成 | 第14-16页 |
| §2.2 键合误差源分析 | 第16-17页 |
| §2.3 键合机械结构及几何误差分析 | 第17-20页 |
| §2.3.1 键合头系统结构及其几何误差 | 第18-19页 |
| §2.3.2 基板工作台结构及其几何误差 | 第19-20页 |
| §2.4 本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 倒装芯片键合机空间误差建模 | 第21-33页 |
| §3.1 空间误差建模流程 | 第21-22页 |
| §3.2 键合结构及运动分析 | 第22-23页 |
| §3.3 几何结构描述 | 第23-25页 |
| §3.3.1 拓扑结构及其低序阵列 | 第23-24页 |
| §3.3.2 键合结构自由度 | 第24-25页 |
| §3.4 相邻体特征变换矩阵 | 第25-29页 |
| §3.4.1 误差条件下典型体的几何描述 | 第25-26页 |
| §3.4.2 坐标系设置 | 第26页 |
| §3.4.3 运动体几何误差 | 第26-27页 |
| §3.4.4 相邻体特征变换矩阵构建 | 第27-29页 |
| §3.5 空间误差模型 | 第29-32页 |
| §3.6 本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 倒装芯片键合机空间误差敏感度分析 | 第33-44页 |
| §4.1 空间误差敏感度分析模型 | 第33-34页 |
| §4.2 零部件几何误差参数的检定 | 第34-36页 |
| §4.3 几何误差参数敏感度 | 第36-39页 |
| §4.4 关键性几何误差参数识别 | 第39-42页 |
| §4.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 第五章 倒装芯片键合机精度优化设计 | 第44-57页 |
| §5.1 误差参数溯源 | 第44-45页 |
| §5.2 角位移误差与垂直度误差辨识 | 第45-47页 |
| §5.3 精度优化设计模型 | 第47-49页 |
| §5.3.1 目标函数 | 第47页 |
| §5.3.2 设计变量 | 第47页 |
| §5.3.3 权重系数 | 第47-49页 |
| §5.3.4 约束条件 | 第49页 |
| §5.4 倒装芯片键合机精度优化 | 第49-56页 |
| §5.4.1 遗传算法及其基本原理 | 第49-51页 |
| §5.4.2 编写目标函数的 M 文件 | 第51-52页 |
| §5.4.3 遗传算法工具选项参数设置 | 第52-53页 |
| §5.4.4 精度优化结果 | 第53页 |
| §5.4.5 优化结果对比分析 | 第53-56页 |
| §5.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 总结与展望 | 第57-59页 |
| §6.1 工作总结 | 第57-58页 |
| §6.2 工作展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 作者在攻读硕士期间的主要研究成果 | 第63页 |
