| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题的来源 | 第9页 |
| 1.2 课题研究的背景与意义 | 第9页 |
| 1.3 线边缘粗糙度测量技术的研究现状 | 第9-15页 |
| 1.3.1 常用测量仪器和方法 | 第9-14页 |
| 1.3.2 数据分析方法 | 第14-15页 |
| 1.4 LER对线宽测量的影响的问题 | 第15页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 基于AFM的刻线边缘粗糙度测量 | 第17-32页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 原子力显微镜概述 | 第17-19页 |
| 2.2.1 原子力显微镜的成像机理 | 第17-19页 |
| 2.2.2 原子力显微镜的工作模式 | 第19页 |
| 2.3 LER测量模型的建立 | 第19-25页 |
| 2.3.1 线宽测量模型 | 第19-22页 |
| 2.3.2 LER关键点测量方法 | 第22-24页 |
| 2.3.3 LER特征提取 | 第24-25页 |
| 2.4 AFM在LER测量过程中的影响因素 | 第25-30页 |
| 2.4.1 样本旋转与位置校正 | 第25-27页 |
| 2.4.2 压电驱动器影响与校正 | 第27-29页 |
| 2.4.3 探针膨胀作用 | 第29-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-32页 |
| 第3章 LER的测量结果及其对线宽测量影响研究 | 第32-42页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 线边缘幅值参数 | 第32-33页 |
| 3.3 LER的统计学表征参数 | 第33-36页 |
| 3.3.1 数据计算与分析 | 第34-35页 |
| 3.3.2 两种线宽测量模型的数据比对 | 第35-36页 |
| 3.4 LER对线宽测量的影响研究 | 第36-41页 |
| 3.4.1 实验过程 | 第36-37页 |
| 3.4.2 测量结果与分析 | 第37-40页 |
| 3.4.3 局部线宽的研究 | 第40-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 线宽测量的不确定度分析 | 第42-51页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 不确定度的评定理论 | 第42-44页 |
| 4.2.1 测量不确定度的判定 | 第42-43页 |
| 4.2.2 测量不确定度的合成 | 第43-44页 |
| 4.3 AFM测线宽的不确定度来源和判定 | 第44-47页 |
| 4.3.1 来源于测量的不确定度及其判定 | 第45-46页 |
| 4.3.2 来源于位置校正的不确定度及其判定 | 第46页 |
| 4.3.3 来源于样本温度的不确定度及其评定 | 第46页 |
| 4.3.4 来源于AFM压电晶体管的不确定度及其评定 | 第46-47页 |
| 4.4 实验与计算结果 | 第47-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 致谢 | 第57页 |