P-MBE法生长ZnO单晶薄膜及Na掺杂研究

摘要	第1-7页
Abstract	第7-9页
目录	第9-12页
第一章 前言	第12-14页
第二章 文献综述	第14-35页
·ZnO的结构	第14-17页
·ZnO的基本性质	第17-23页
·ZnO的能带	第17-20页
·ZnO的光学性能	第20-22页
·ZnO的电学性能	第22-23页
·ZnO的应用	第23-25页
·ZnO薄膜的外延生长	第25-28页
·ZnO的缺陷与掺杂	第28-33页
·ZnO的本征缺陷	第28-29页
·ZnO的非故意掺杂	第29-30页
·ZnO的n型掺杂	第30-31页
·ZnO的p型掺杂	第31-33页
·本文研究思路	第33-35页
第三章 实验原理、生长工艺和评价手段	第35-42页
·MBE的原理	第35-36页
·MBE的特点	第36页
·MBE设备	第36-38页
·实验原料及生长工艺	第38-40页
·源材料	第38页
·衬底及清洗方法	第38-39页
·生长工艺	第39-40页
·性能表征	第40-42页
第四章 c面蓝宝石上外延生长ZnO单晶薄膜	第42-55页
·衬底温度对ZnO外延薄膜的影响	第42-46页
·氧流量对ZnO外延薄膜的影响	第46-49页
·MgO缓冲层对ZnO外延薄膜的影响	第49-54页
·本章小结	第54-55页
第五章 a面蓝宝石上外延生长ZnO单晶薄膜	第55-87页
·衬底处理工艺对ZnO外延薄膜的影响	第55-59页
·Zn/O比对ZnO外延薄膜的影响	第59-65页
·Zn源温度对ZnO外延薄膜的影响	第59-63页
·氧流量对ZnO外延薄膜的影响	第63-65页
·缓冲层对ZnO外延薄膜的影响	第65-71页
·缓冲层厚度对ZnO外延薄膜的影响	第65-68页
·缓冲层温度对ZnO外延薄膜的影响	第68-71页
·退火工艺对ZnO外延薄膜的影响	第71-79页
·退火温度对ZnO外延薄膜的影响	第71-75页
·退火气氛对ZnO外延薄膜的影响	第75-78页
·退火时间对ZnO外延薄膜的影响	第78-79页
·经过优化工艺生长的ZnO单晶薄膜	第79-86页
·本章小结	第86-87页
第六章 非极性ZnO、ZnMgO薄膜的外延生长	第87-116页
·m面ZnO薄膜的外延生长	第87-94页
·MBE技术外延生长m面ZnO薄膜	第87-90页
·缓冲层厚度对m面ZnO外延薄膜的影响	第90-94页
·a面ZnO薄膜的外延生长	第94-104页
·MBE技术外延生长a面ZnO薄膜	第94-97页
·生长温度对a面ZnO外延薄膜的影响	第97-99页
·氧流量对a面ZnO外延薄膜的影响	第99-101页
·缓冲层温度对a面ZnO外延薄膜的影响	第101-104页
·非极性ZnO薄膜非故意掺杂p型的机理探索	第104-107页
·非极性ZnMgO薄膜的外延生长	第107-115页
·m面ZnMgO薄膜的外延生长	第107-110页
·a面ZnMgO薄膜的外延生长	第110-112页
·不同衬底上生长的非极性ZnMgO薄膜的比较	第112-115页
·本章小结	第115-116页
第七章 Na掺杂p型ZnO薄膜的研究	第116-134页
·Na掺杂极性ZnO薄膜的研究	第116-121页
·Na含量对Na掺杂极性ZnO薄膜的影响	第116-118页
·衬底温度对Na掺杂极性ZnO薄膜的影响	第118-119页
·Na掺杂p型极性ZnO薄膜	第119-121页
·Na掺杂非极性ZnO薄膜的研究	第121-133页
·Na掺杂a面ZnO薄膜的研究	第122-128页
·Na含量对Na掺杂a面ZnO薄膜的影响	第122-124页
·衬底温度对Na掺杂a面ZnO薄膜的影响	第124页
·Na掺杂p型a面ZnO薄膜	第124-128页
·Na掺杂非极性m面ZnO薄膜的研究	第128-133页
·Na含量对Na掺杂m面ZnO薄膜的影响	第128-130页
·氧流量对Na掺杂m面ZnO薄膜的影响	第130-131页
·Na掺杂p型m面ZnO薄膜	第131-133页
·本章小结	第133-134页
第八章 结论	第134-137页
·全文总结	第134-135页
·本文主要创新点	第135-136页
·未来工作展望	第136-137页
参考文献	第137-154页
致谢	第154-156页
个人简历	第156-158页
攻读博士学位期间发表的论文与取得的其它研究成果	第158-159页