强流氧离子注入机高温旋转扫描靶的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| ·SOI 技术综述 | 第10-12页 |
| ·SOI 技术的优势 | 第10-12页 |
| ·当前SOI 技术的主要应用 | 第12页 |
| ·SOI 材料的主流制备技术 | 第12-15页 |
| ·注氧隔离技术（SIMOX） | 第12-14页 |
| ·薄层转移技术 | 第14-15页 |
| ·强流氧离子注入机的发展 | 第15-19页 |
| ·高温旋转扫描靶简介 | 第19-21页 |
| ·强流氧离子注入机的组成及工作原理 | 第19-20页 |
| ·高温旋转扫描靶简介 | 第20-21页 |
| ·论文研究的意义及主要内容 | 第21-23页 |
| ·论文研究的意义 | 第21页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 高温旋转扫描靶设计与理论分析 | 第23-41页 |
| ·高温旋转扫描靶的设计要求 | 第23-24页 |
| ·强流氧离子注入机中的加热装置及方式 | 第24-30页 |
| ·高温旋转扫描靶加热装置简介 | 第24-25页 |
| ·高温旋转扫描靶加热方式 | 第25-27页 |
| ·高温旋转扫描靶的热设计 | 第27-28页 |
| ·加热装置的布置 | 第28-29页 |
| ·高温靶的装夹研究 | 第29-30页 |
| ·批注入式离子注入机的机械扫描 | 第30-32页 |
| ·批注入式全机械扫描 | 第31-32页 |
| ·批注入式混合扫描 | 第32页 |
| ·强流氧离子注入机的扫描方式 | 第32-40页 |
| ·强流氧离子注入机全机械扫描 | 第33-36页 |
| ·强流氧离子注入机磁扫描研究 | 第36-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 第三章 基于UG 的高温旋转扫描靶 CAD 建模 | 第41-53页 |
| ·U G 软件简介 | 第41-43页 |
| ·参数化特征建模技术 | 第43-47页 |
| ·产品的特征建模 | 第43-45页 |
| ·参数化设计 | 第45-46页 |
| ·基于特征的参数化建模 | 第46页 |
| ·虚拟装配技术 | 第46-47页 |
| ·高温旋转扫描靶关键零部件的设计与建模 | 第47-52页 |
| ·靶的主要功能模块与及相互关系 | 第47-49页 |
| ·高温旋转扫描靶CAD 模型的建立 | 第49-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 第四章 高温旋转扫描靶虚拟样机建立与仿真分析 | 第53-67页 |
| ·虚拟样机技术及ADAMS 简介 | 第53-57页 |
| ·虚拟样机技术简介 | 第53页 |
| ·虚拟样机技术在高温旋转扫描靶开发中的意义 | 第53-54页 |
| ·ADAMS 软件简介 | 第54-56页 |
| ·结合UG 和ADAMS 进行仿真研究 | 第56-57页 |
| ·高温旋转扫描靶虚拟样机仿真模型的建立 | 第57-60页 |
| ·基于UG/Motion 运动分析方案 | 第57-59页 |
| ·高温旋转扫描靶ADAMS 虚拟样机建立 | 第59-60页 |
| ·靶运动仿真分析 | 第60-66页 |
| ·旋转扫描分析 | 第60-61页 |
| ·摆动扫描分析 | 第61-64页 |
| ·联合旋转和摆动扫描仿真 | 第64-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 第五章 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·总结 | 第67-68页 |
| ·展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 附录 | 第73页 |
