微小激光微细加工区域温度分布均匀化方法研究
| 摘 要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-14页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·相关技术研究现状 | 第10-12页 |
| ·激光微细加工技术 | 第10-11页 |
| ·光束整形技术研究现状 | 第11-12页 |
| ·三种温度均匀化方法 | 第12-14页 |
| 第二章 掩膜法 | 第14-22页 |
| ·温度场与入射光场的关系 | 第14-15页 |
| ·高斯光束和“帽”形光束引起的温度分布 | 第15-17页 |
| ·掩膜板设计 | 第17-19页 |
| ·结果分析 | 第19-22页 |
| 第三章 二元光学方法 | 第22-45页 |
| ·二元光学 | 第22-27页 |
| ·二元光学元件进行光束整形的理论基础 | 第23-24页 |
| ·二元光学中的衍射理论 | 第24-27页 |
| ·二元光学设计方法 | 第27页 |
| ·遗传算法及实现 | 第27-37页 |
| ·遗传算法基本特征 | 第28-30页 |
| ·编码方案 | 第30-31页 |
| ·适应值的表示策略 | 第31-32页 |
| ·遗传算子实现 | 第32-36页 |
| ·遗传算法的停止准则 | 第36页 |
| ·算法的搜索能力和收敛特性 | 第36-37页 |
| ·器件设计 | 第37-39页 |
| ·结果分析 | 第39-45页 |
| ·理想光强的求解 | 第39-41页 |
| ·相位板的设计 | 第41-42页 |
| ·实际的温度分布情况 | 第42-45页 |
| 第四章 空间光调制器法 | 第45-64页 |
| ·空间光调制器简介 | 第45-47页 |
| ·液晶空间光调制器 | 第47-49页 |
| ·相位型液晶空间光调制器 | 第47-48页 |
| ·振幅型液晶空间光调制器 | 第48-49页 |
| ·AM-LCD 及其驱动技术 | 第49-60页 |
| ·无源矩阵编址的驱动原理 | 第49-50页 |
| ·有源矩阵编址的驱动原理 | 第50-52页 |
| ·驱动芯片及驱动电路 | 第52-55页 |
| ·控制电路 | 第55-60页 |
| ·利用液晶空间光调制器实现温度均匀化的方案 | 第60-63页 |
| ·液晶空间光调制器法的系统结构 | 第60-62页 |
| ·液晶空间光调制器的控制驱动电路 | 第62-63页 |
| ·模拟计算结果 | 第63-64页 |
| 第五章 结论 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 附录 | 第70-83页 |
| 附录1：高斯、平顶以及理想光强引起的温度分布 | 第70-74页 |
| 附录2：理想光强求解程序 | 第74-77页 |
| 附录3：相位板设计matlab 程序 | 第77-81页 |
| 附录4：液晶法的模拟调整算法 | 第81-83页 |
| 硕士期间取得的研究成果 | 第83页 |
