| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究进展 | 第11-12页 |
| 1.3 课题研究主要内容 | 第12页 |
| 1.4 本章小结 | 第12-13页 |
| 第二章 薄膜粘附性的表征 | 第13-21页 |
| 2.1 薄膜粘附性的表征方法 | 第13-20页 |
| 2.2 将有限元方法引入到薄膜粘附性表征的意义 | 第20页 |
| 2.3 本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 有限元仿真方法在声表面波技术中的应用 | 第21-44页 |
| 3.1 基于内聚力模型表征薄膜粘附性 | 第22-35页 |
| 3.1.1 内聚力模型理论 | 第22-27页 |
| 3.1.2 有限元INTER202单元 | 第27-28页 |
| 3.1.3 薄膜粘附性的有限元仿真 | 第28-34页 |
| 3.1.4 基于内聚力模型的有限元仿真结果分析 | 第34-35页 |
| 3.2 有限元方法研究粗糙度对表面波频散曲线的影响 | 第35-43页 |
| 3.2.1 粗糙度理论及描述 | 第35-36页 |
| 3.2.2 利用有限元方法计算考虑粗糙度的表面波频散曲线 | 第36-40页 |
| 3.2.3 利用表面波实验方法确定粗糙度对理论频散曲线影响 | 第40-43页 |
| 3.3 本章总结 | 第43-44页 |
| 第四章 声表面波表征薄膜粘附性 | 第44-65页 |
| 4.1 表面波在固体中传播特性研究 | 第45-52页 |
| 4.1.1 表面波在基本薄膜结构中的传播特性 | 第45-49页 |
| 4.1.2 薄膜与基底间界面粘附性对表面波频散曲线的影响 | 第49-52页 |
| 4.2 激光激发表面波实验系统 | 第52-54页 |
| 4.3 最小二乘法进行理论与实验频散曲线的拟合 | 第54-55页 |
| 4.4 LSAWs技术检测薄膜与基底之间粘附性 | 第55-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 5.1 总结 | 第65-66页 |
| 5.2 展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
