微型悬臂叠层芯片的结构动力学实验及分析
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 三维封装的发展 | 第8页 |
| 1.2 芯片三维叠层封装技术 | 第8-9页 |
| 1.3 微结构基础激励技术和方法及研究现状 | 第9-13页 |
| 1.3.1 内部集成激励 | 第9-10页 |
| 1.3.2 外部非接触激励 | 第10-11页 |
| 1.3.3 底座激励 | 第11-12页 |
| 1.3.4 各种激励方式的对比 | 第12-13页 |
| 1.4 微结构动态测试技术 | 第13-16页 |
| 1.4.1 激光位移检测技术 | 第13-14页 |
| 1.4.2 电学检测方法 | 第14-15页 |
| 1.4.3 激光多普勒动态测试技术 | 第15-16页 |
| 1.4.4 各种测试方法的对比 | 第16页 |
| 1.5 双探头多普勒激光测振仪 | 第16页 |
| 1.6 课题综述 | 第16-20页 |
| 1.6.1 课题来源 | 第16-17页 |
| 1.6.2 课题研究意义 | 第17-18页 |
| 1.6.3 研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 叠层芯片动力学分析和测试方法 | 第20-45页 |
| 2.1 微型悬臂叠层芯片 | 第20页 |
| 2.2 底座激振系统 | 第20-23页 |
| 2.3 Agilent 33120A信号发生器 | 第23-25页 |
| 2.4 双探头多普勒激光测振仪 | 第25-27页 |
| 2.5 实验方案 | 第27-28页 |
| 2.6 悬臂梁的横向振动 | 第28-34页 |
| 2.6.1 运动微分方程 | 第28-30页 |
| 2.6.2 自由振动 | 第30-31页 |
| 2.6.3 边界条件 | 第31-33页 |
| 2.6.4 悬臂梁简化为弹簧振子 | 第33-34页 |
| 2.7 悬臂叠层芯片的动力学分析 | 第34-44页 |
| 2.7.1 底座激励下的悬臂梁振动 | 第34-36页 |
| 2.7.2 幅频特性 | 第36-38页 |
| 2.7.3 相频特性 | 第38-39页 |
| 2.7.4 奈奎斯特圆 | 第39-41页 |
| 2.7.5 相位差补偿 | 第41-42页 |
| 2.7.6 补偿后的奈奎斯特圆 | 第42-44页 |
| 2.8 本章小结 | 第44-45页 |
| 第三章 三种激励下叠层芯片的响应分析 | 第45-60页 |
| 3.1 稳态频率扫描激励 | 第45-51页 |
| 3.1.1 稳态频率扫描激励下的测试方法 | 第45-47页 |
| 3.1.2 稳态激励下悬臂和底座的速度频谱曲线 | 第47-51页 |
| 3.2 快速动态频率扫描激励 | 第51-55页 |
| 3.2.1 正向动态频率扫描 | 第51-53页 |
| 3.2.2 逆向动态频率扫描 | 第53-55页 |
| 3.3 叠层芯片振动系统的非线性分析 | 第55-58页 |
| 3.3.1 非线性振动系统的响应曲线 | 第55-56页 |
| 3.3.2 正向扫频和逆向扫频的响应曲线对比 | 第56-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 第四章 悬臂与底座的相互作用 | 第60-71页 |
| 4.1 悬臂与底座速度频谱曲线分析 | 第60-63页 |
| 4.2 悬臂的无量纲频率响应曲线 | 第63-67页 |
| 4.3 动态扫频和稳态扫频的频率响应曲线对比 | 第67-69页 |
| 4.4 本章小结 | 第69-71页 |
| 第五章 相位差分析和模型近似求解 | 第71-88页 |
| 5.1 悬臂与底座的相位差曲线 | 第71-78页 |
| 5.1.1 稳态扫频激励下的相位差曲线 | 第71-74页 |
| 5.1.2 正向扫频和逆向扫频的相位差曲线 | 第74-77页 |
| 5.1.3 相位差补偿系数的求解 | 第77-78页 |
| 5.2 悬臂频率响应曲线的拟合 | 第78-81页 |
| 5.3 两悬臂的奈奎斯特圆 | 第81-83页 |
| 5.4 悬臂叠层芯片面运动扫描 | 第83-85页 |
| 5.5 等效模态参数的估算 | 第85-87页 |
| 5.6 本章小结 | 第87-88页 |
| 第六章 全文总结和展望 | 第88-91页 |
| 6.1 全文总结 | 第88-90页 |
| 6.2 展望 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-97页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第97-98页 |
| 致谢 | 第98页 |
