| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 下一代光刻技术 | 第10-11页 |
| 1.3 纳米压印技术 | 第11-19页 |
| 1.4 本论文的研究内容 | 第19-22页 |
| 2 压印过程聚合物变形机理分析 | 第22-36页 |
| 2.1 引言 | 第22-23页 |
| 2.2 热压印中周期性聚合物变形和填充的数值分析 | 第23-30页 |
| 2.3 跨尺度图形的仿真分析 | 第30-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 3 纳米压印技术制作高精度衍射光栅的关键工艺分析 | 第36-56页 |
| 3.1 引言 | 第36-37页 |
| 3.2 高精度衍射光栅制作的关键工艺 | 第37-42页 |
| 3.3 基于纳米压印工艺的高精度衍射光栅制作和关键工艺研究 | 第42-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 4 纳米压印技术在DFB激光器中的应用 | 第56-75页 |
| 4.1 引言 | 第56-57页 |
| 4.2 DFB激光器的原理 | 第57-60页 |
| 4.3 纳米压印制作DFB激光器的工艺研究 | 第60-68页 |
| 4.4 DFB激光器的性能测试 | 第68-74页 |
| 4.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 5 纳米压印技术在光子集成芯片中的应用 | 第75-91页 |
| 5.1 引言 | 第75页 |
| 5.2 光子集成器件的发展和应用 | 第75-82页 |
| 5.3 单片集成四通道DFB激光器阵列和4×1 MMI器件的制作和测试 | 第82-90页 |
| 5.4 本章小结 | 第90-91页 |
| 6 总结与展望 | 第91-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |
| 参考文献 | 第95-109页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第109-111页 |