半导体晶圆匀胶系统在线缺陷检测方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3 课题研究意义 | 第12页 |
| 1.4 课题研究主要内容 | 第12-13页 |
| 1.5 章节安排 | 第13-14页 |
| 第二章 图像采集系统设计 | 第14-22页 |
| 2.1 软件平台 | 第14-16页 |
| 2.1.1 虚拟仪器简介 | 第14-15页 |
| 2.1.2 LabVIEW语言概述 | 第15-16页 |
| 2.1.3 IMAQ图像处理工具包 | 第16页 |
| 2.2 硬件组成与设计 | 第16-20页 |
| 2.2.1 视觉系统的光源 | 第16-17页 |
| 2.2.2 图像传感器的选择 | 第17-20页 |
| 2.2.3 图像采集卡的选择 | 第20页 |
| 2.3 本章小结 | 第20-22页 |
| 第三章 图像处理算法研究 | 第22-38页 |
| 3.1 图像滤波 | 第22-26页 |
| 3.1.1 常用滤波算法 | 第22-26页 |
| 3.1.2 边界像素处理 | 第26页 |
| 3.2 图像增强 | 第26-31页 |
| 3.2.1 灰度变换 | 第26-29页 |
| 3.2.2 直方图变换 | 第29-31页 |
| 3.3 模板匹配 | 第31-35页 |
| 3.3.1 基于灰度值的模板匹配 | 第31-34页 |
| 3.3.2 金字塔模板匹配 | 第34页 |
| 3.3.3 旋转和缩放的模板匹配 | 第34-35页 |
| 3.3.4 算法改进 | 第35页 |
| 3.4 图像差影检测算法 | 第35-36页 |
| 3.5 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 特征提取与缺陷分类 | 第38-50页 |
| 4.1 特征提取与缺陷分类算法介绍 | 第38-43页 |
| 4.1.1 颜色特征提取 | 第38-39页 |
| 4.1.2 纹理特征提取 | 第39-40页 |
| 4.1.3 图像变换系数特征提取 | 第40-41页 |
| 4.1.4 缺陷分类算法 | 第41-43页 |
| 4.2 基于角点检测的特征提取算法 | 第43-45页 |
| 4.3 缺陷分类算法设计 | 第45-47页 |
| 4.4 晶圆缺陷分类结果及分析 | 第47-48页 |
| 4.5 本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 晶圆缺陷检测系统整体设计 | 第50-60页 |
| 5.1 系统概述 | 第50-52页 |
| 5.2 机械运动平台设计 | 第52-55页 |
| 5.2.1 NI PCI 7354运动控制卡 | 第52页 |
| 5.2.2 NI AKD无刷伺服驱动器 | 第52-53页 |
| 5.2.3 其他控制设备 | 第53页 |
| 5.2.4 运动控制策略 | 第53-55页 |
| 5.3 基于LabVIEW的系统软件设计 | 第55-58页 |
| 5.3.1 人机交互界面 | 第55-56页 |
| 5.3.2 软件系统工作流程 | 第56-58页 |
| 5.4 晶圆缺陷检测整体流程 | 第58-59页 |
| 5.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 结论 | 第60-62页 |
| 6.1 总结 | 第60页 |
| 6.2 展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 作者简介 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
