太阳能硅片移送用三自由度机械手的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| ·课题研究的背景 | 第8-9页 |
| ·课题的目的及意义 | 第9页 |
| ·机器人概述 | 第9-12页 |
| ·机器人的分类 | 第9-10页 |
| ·国外机器人发展状况 | 第10-11页 |
| ·我国机器人发展状况 | 第11-12页 |
| ·硅片传输机械手相关技术及发展状况 | 第12-15页 |
| ·硅片传输机械手的发展 | 第12-15页 |
| ·硅片传输机械手的发展趋势 | 第15页 |
| ·机械手运动轨迹规划概述 | 第15-16页 |
| ·机械手轨迹规划方法概述 | 第15-16页 |
| ·机械手时间最优轨迹规划方法 | 第16页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 机械手机电系统的设计 | 第18-31页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·三自由度机械手的机械系统设计 | 第18-26页 |
| ·机械手坐标形式的分析 | 第18-20页 |
| ·机械手机械结构的设计 | 第20-23页 |
| ·结构形变误差的分析 | 第23-26页 |
| ·三自由度机械手的电气系统设计 | 第26-30页 |
| ·负载转矩及转动惯量 | 第26-27页 |
| ·电气系统执行部件的选择 | 第27-28页 |
| ·机械手驱动控制系统的设计 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 机械手运动轨迹规划及插补算法 | 第31-42页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·机械手轨迹规划 | 第31-37页 |
| ·轨迹规划方法 | 第31页 |
| ·三自由度机械手时间最优轨迹规划 | 第31-37页 |
| ·机械手运动轨迹插补 | 第37-41页 |
| ·直线和圆弧运动轨迹插补 | 第38-40页 |
| ·插补运动轨迹的执行 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 系统的软件设计及实验 | 第42-59页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·顺序程序设计 | 第42-51页 |
| ·控制系统流程图 | 第42-45页 |
| ·PLC存储空间分配 | 第45页 |
| ·插补流程 | 第45-47页 |
| ·系统的软件程序设计 | 第47-51页 |
| ·系统实验 | 第51-56页 |
| ·电气系统测试实验 | 第51-53页 |
| ·单轴实验 | 第53页 |
| ·步进电动机联动实验 | 第53页 |
| ·定位实验 | 第53-55页 |
| ·抓取实验 | 第55-56页 |
| ·系统的误差分析及脉冲补偿法 | 第56-57页 |
| ·误差分析 | 第56-57页 |
| ·脉冲补偿法 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
