| 第一章 引言 | 第1-35页 |
| 1．1 研究背景 | 第11-18页 |
| 1．1．1 系统芯片技术 | 第11-13页 |
| 1．1．2 互连与封装技术 | 第13-18页 |
| 1．2 片内互连的拓扑结构 | 第18-25页 |
| 1．2．1 基本布线结构 | 第18-24页 |
| 1．2．2 电路级解决方案 | 第24-25页 |
| 1．3 片内互连采用新材料 | 第25-27页 |
| 1．3．1 铜代铝作为新互连线 | 第25页 |
| 1．3．2 低k介质材料 | 第25-26页 |
| 1．3．3 现状与发展 | 第26-27页 |
| 1．4 本文的研究工作 | 第27-35页 |
| 1．4．1 研究对象 | 第27-30页 |
| 1．4．2 研究方法 | 第30-33页 |
| 1．4．3 研究成果 | 第33-35页 |
| 第二章 时域有限差分法进行互连参数提取的基本理论 | 第35-48页 |
| 2．1 引言 | 第35页 |
| 2．2 时域有限差分法 | 第35-42页 |
| 2．2．1 有限差分的概念 | 第35-36页 |
| 2．2．2 时域有限差分法的基本原理及其高精度性体现 | 第36-39页 |
| 2．2．3 时域有限差分法的结构普适性 | 第39-41页 |
| 2．2．4 时域有限差分法的其他关键问题 | 第41-42页 |
| 2．3 时域有限差分法在集成电路互连分析中的应用 | 第42-46页 |
| 2．3．1 时域有限差分法在集成电路互连分析中的应用特点 | 第42-44页 |
| 2．3．2 时域有限差分法进行互连参数提取的基本方法 | 第44-46页 |
| 2．4 本章小节 | 第46-48页 |
| 第三章 互连结构不连续性的电磁仿真与参数提取研究 | 第48-69页 |
| 3．1 引言 | 第48页 |
| 3．2 研究结构及分析复杂性 | 第48-49页 |
| 3．3 本章采用的分析思路 | 第49-50页 |
| 3．4 平面型不连续性的FDTD仿真分析 | 第50-59页 |
| 3．4．1 间隙不连续性的初步分析 | 第50-52页 |
| 3．4．2 重要的仿真准备工作 | 第52-55页 |
| 3．4．3 仿真结果 | 第55-59页 |
| 3．5 三维立体不连续性的FDTD仿真分析 | 第59-67页 |
| 3．5．1 垂直互连不连续性的初步分析 | 第59-61页 |
| 3．5．2 重要的仿真准备工作 | 第61-62页 |
| 3．5．3 仿真结果 | 第62-67页 |
| 3．6 不连续性分析小节 | 第67-68页 |
| 3．7 本章小节 | 第68-69页 |
| 第四章 多导体结构高速高精度参数提取研究及实现 | 第69-89页 |
| 4．1 引言 | 第69页 |
| 4．2 等效电路参数的提取原理 | 第69-70页 |
| 4．3 分析方法面临的困难 | 第70-71页 |
| 4．4 高速高精度提取方法研究及实现 | 第71-81页 |
| 4．4．1 降维FDTD方法的研究 | 第71-73页 |
| 4．4．2 非均匀网格技术的改进与实现 | 第73-79页 |
| 4．4．3 信号拟合预测技术的研究与实现 | 第79-81页 |
| 4．5 计算实例与结果 | 第81-85页 |
| 4．6 应用一种最新的改进降维FDTD法进行分析 | 第85-88页 |
| 4．6．1 一种最新的改进降维FDTD方法 | 第85-86页 |
| 4．6．2 计算结果 | 第86-88页 |
| 4．7 本章小节 | 第88-89页 |
| 第五章 人工神经网络模型及其CAD应用 | 第89-98页 |
| 5．1 引言 | 第89-90页 |
| 5．2 神经网络的发展 | 第90页 |
| 5．3 神经网络的基本理论 | 第90-96页 |
| 5．3．1 人工神经元模型 | 第90-92页 |
| 5．3．2 人工神经网络的结构形式 | 第92-93页 |
| 5．3．3 人工神经网络的工作原理 | 第93-95页 |
| 5．3．4 人工神经网络的特点 | 第95-96页 |
| 5．4 神经网络在互连CAD建模中的应用 | 第96-97页 |
| 5．5 本章小节 | 第97-98页 |
| 第六章 基于神经网络模型的快速互连参数提取研究 | 第98-112页 |
| 6．1 引言 | 第98页 |
| 6．2 屏蔽共面波导间隙不连续性的ANN建模 | 第98-105页 |
| 6．2．1 间隙的ANN模型的目标映射关系 | 第98-99页 |
| 6．2．2 间隙的MLPNN模型的建立 | 第99-103页 |
| 6．2．3 模型的测试及结果 | 第103-105页 |
| 6．3 屏蔽共面波导垂直互连不连续性的ANN建模 | 第105-109页 |
| 6．3．1 垂直互连的MLPNN模型结构 | 第105-106页 |
| 6．3．2 模型的训练及结果 | 第106-109页 |
| 6．4 建模有效性及提高方法的进一步探讨 | 第109-111页 |
| 6．4．1 样本冗余信息对建模有效性的影响 | 第109-110页 |
| 6．4．2 模型训练的目标函数的改进分析 | 第110-111页 |
| 6．5 本章小节 | 第111-112页 |
| 第七章 程序实现与软件开发 | 第112-120页 |
| 7．1 引言 | 第112页 |
| 7．2 程序实现 | 第112-115页 |
| 7．3 软件开发 | 第115-119页 |
| 7．4 本章小节 | 第119-120页 |
| 第八章 结论与建议 | 第120-123页 |
| 8．1 全文工作总结 | 第120-121页 |
| 8．2 进一步研究的建议 | 第121-123页 |
| 参考文献 | 第123-131页 |
| 致谢 | 第131-132页 |
| 附录 | 第132-135页 |
| 个人简历、研究成果及发表论文 | 第135页 |
