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毛细管电泳芯片的设计与加工技术研究

摘  要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-21页
   ·生物芯片技术概述第8-9页
   ·微流控芯片特点及加工技术第9-14页
   ·毛细管电泳芯片的种类及应用第14-20页
   ·本文的主要研究内容第20-21页
2 毛细管电泳芯片的工作原理及检测方法第21-34页
   ·毛细管电泳芯片的特点第21页
   ·毛细管电泳芯片的基本工作原理第21-25页
   ·毛细管电泳芯片的分离机制第25-27页
   ·毛细管电泳芯片的检测方法第27-29页
   ·毛细管电泳芯片进样方式选择第29-34页
3 一维毛细管电泳芯片技术研究第34-45页
   ·一维毛细管电泳芯片制备第34-37页
   ·一维毛细管电泳芯片分离实验第37-41页
   ·结果与讨论第41-45页
4 二维毛细管电泳芯片的设计第45-54页
   ·二维毛细管电泳芯片设计的基本原理第45-46页
   ·二维毛细管电泳芯片分离机制选择第46页
   ·二维毛细管电泳芯片结构设计第46-53页
   ·设计方案讨论第53-54页
5 二维毛细管电泳芯片制备工艺研究第54-69页
   ·芯片制作工艺流程的确定第54-55页
   ·光刻胶的选择第55-56页
   ·版图设计与掩膜版制作第56-58页
   ·光刻工艺参数确定第58-63页
   ·腐蚀工艺参数确定第63-66页
   ·二维毛细管电泳芯片的制备第66-67页
   ·小结第67-69页
6 总结与展望第69-71页
   ·课题研究总结第69页
   ·展望第69-71页
致  谢第71-72页
参考文献第72-80页
附录1  攻读学位期间发表论文目录第80页

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