| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 选题背景及研究意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国际研究进展 | 第11-14页 |
| 1.2.1 互连可靠性的研究 | 第11-13页 |
| 1.2.2 人工神经网络的研究 | 第13-14页 |
| 1.3 论文主要工作与结构安排 | 第14-15页 |
| 第二章 电路互连线中的电迁移分析 | 第15-25页 |
| 2.1 EM失效机制 | 第15-16页 |
| 2.2 原子通量散度(AFD) | 第16-17页 |
| 2.3 EM分析方法 | 第17-24页 |
| 2.3.1 扩散路径方法 | 第17-19页 |
| 2.3.2 驱动力方法 | 第19-23页 |
| 2.3.3 其他分析方法 | 第23-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 基于自动建模算法的人工神经网络 | 第25-39页 |
| 3.1 可靠性建模方法 | 第25-26页 |
| 3.1.1 响应曲面模型 | 第25-26页 |
| 3.1.2 人工神经网络模型 | 第26页 |
| 3.2 人工神经网络建模方法 | 第26-33页 |
| 3.2.1 人工神经网络简介 | 第26-29页 |
| 3.2.2 人工神经网络的训练过程 | 第29-33页 |
| 3.3 基于自动建模算法的人工神经网络 | 第33-38页 |
| 3.3.1 自动建模算法 | 第33-36页 |
| 3.3.2 参数化建模 | 第36-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 互连可靠性分析 | 第39-58页 |
| 4.1 EM分析实例 | 第40-45页 |
| 4.2 AFD的基本分析 | 第45-53页 |
| 4.2.1 温度、电流对AFD的影响 | 第45-48页 |
| 4.2.2 互连线材料特性对AFD的影响 | 第48-49页 |
| 4.2.3 阻挡层厚度对AFD的影响 | 第49-50页 |
| 4.2.4 晶体管的漏极与源极之间的距离L以及漏极(源极)接触的间距W对AFD的影响 | 第50-52页 |
| 4.2.5 各种驱动力对AFD的贡献 | 第52-53页 |
| 4.3 AFD的敏感度分析 | 第53-55页 |
| 4.4 AFD的蒙特卡洛分析 | 第55-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 5.1 论文总结 | 第58-59页 |
| 5.2 未来工作展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |