基于飞秒激光抽运—探测技术的纳米薄膜热输运特性研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第1章 引言 | 第10-37页 |
| ·研究背景 | 第10-13页 |
| ·微电子/光电子器件领域 | 第10-11页 |
| ·热电材料领域 | 第11-12页 |
| ·激光微加工领域 | 第12-13页 |
| ·研究现状 | 第13-35页 |
| ·金属薄膜瞬态非平衡传热问题的研究 | 第13-19页 |
| ·薄膜材料热物性测量方法的研究 | 第19-26页 |
| ·薄膜材料热物性的研究 | 第26-30页 |
| ·界面热阻的研究 | 第30-35页 |
| ·研究的主要内容 | 第35-37页 |
| 第2章 测量原理及热传导模型 | 第37-60页 |
| ·测量原理 | 第37-38页 |
| ·金属非平衡热输运的研究 | 第38-47页 |
| ·抛物两步模型 | 第38-41页 |
| ·反射率与温度关系 | 第41-43页 |
| ·Al膜非平衡过程傅里叶模型与抛物两步模型对比 | 第43-46页 |
| ·参数敏感度分析 | 第46-47页 |
| ·多层膜结构的热传导模型 | 第47-59页 |
| ·频域响应的信号分析 | 第48-53页 |
| ·柱坐标下傅里叶热传导模型 | 第53-56页 |
| ·相位角的修正 | 第56-58页 |
| ·敏感度分析方法 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第3章 飞秒激光抽运-探测系统 | 第60-82页 |
| ·单波长抽运-探测实验系统的搭建 | 第60-66页 |
| ·主要仪器 | 第62-66页 |
| ·双波长实验台的搭建 | 第66-72页 |
| ·主要设备与模块 | 第68-72页 |
| ·系统的调试 | 第72-78页 |
| ·激光波长的测量 | 第72-73页 |
| ·光路调试 | 第73-77页 |
| ·激光脉冲宽度的测量 | 第77-78页 |
| ·影响实验信号的因素分析 | 第78-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 第4章 纳米金属薄膜热物性的测量 | 第82-99页 |
| ·样品的制备 | 第82-85页 |
| ·电子-声子耦合系数的测量 | 第85-93页 |
| ·Ni膜与Al膜实验结果 | 第86-89页 |
| ·Au膜的实验结果 | 第89-93页 |
| ·纳米金属薄膜热导率的测量 | 第93-98页 |
| ·本章小结 | 第98-99页 |
| 第5章 界面热阻的测量 | 第99-109页 |
| ·金属/半导体材料界面热阻的测量 | 第99-104页 |
| ·Al膜 | 第99-102页 |
| ·Ni膜 | 第102-103页 |
| ·Au膜 | 第103-104页 |
| ·超薄膜的界面热阻测量 | 第104-108页 |
| ·Al/HfO_2/Si膜 | 第104-108页 |
| ·本章小结 | 第108-109页 |
| 第6章 结论与展望 | 第109-111页 |
| ·结论 | 第109-110页 |
| ·创新点 | 第110页 |
| ·展望 | 第110-111页 |
| 主要符号表 | 第111-113页 |
| 参考文献 | 第113-127页 |
| 作者简历 | 第127-128页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第128-129页 |
| 致谢 | 第129页 |
