光栅尺高速高精度跨尺度位移测量方法的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题来源及研究的目的和意义 | 第9页 |
| ·课题相关内容的国内外研究现状 | 第9-16页 |
| ·纳米测量方法的种类与特点 | 第10-14页 |
| ·光栅纳米测量的基本特征 | 第14页 |
| ·光栅研究的近几年关注热点和发展趋势 | 第14-16页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 光栅尺高速高精度跨尺度位移测量原理 | 第17-28页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·光栅在位移测量中的应用 | 第17-24页 |
| ·光栅位移测量原理 | 第17-19页 |
| ·莫尔条纹光电转换原理 | 第19-21页 |
| ·光栅细分原理及细分误差分析 | 第21-24页 |
| ·光栅尺高速高精度跨尺度位移测量原理 | 第24-27页 |
| ·光栅测量速度与分辨力的制约关系 | 第24页 |
| ·光栅尺跨尺度位移测量原理 | 第24-25页 |
| ·光栅尺跨尺度位移测量方案 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 光栅测量的误差分析及误差建模研究 | 第28-40页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·光栅测量误差的来源 | 第28-29页 |
| ·测量误差的补偿方法 | 第29页 |
| ·光栅测量系统的误差建模分析 | 第29-39页 |
| ·仿真模型与仿真方法 | 第30-32页 |
| ·曲线拟合模型 | 第32-35页 |
| ·代数插值模型 | 第35-37页 |
| ·模型精度评价 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 光栅尺高速高精度跨尺度测量系统的设计 | 第40-57页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·切换时延误差分析及处理芯片选择 | 第40-45页 |
| ·切换时延误差分析 | 第40-41页 |
| ·光栅尺和细分卡的应用特性 | 第41-43页 |
| ·信号处理芯片的选择 | 第43-45页 |
| ·基于FPGA 的功能模块设计 | 第45-52页 |
| ·倍频辨向模块 | 第45-47页 |
| ·速度判断模块 | 第47-51页 |
| ·计数合成模块 | 第51-52页 |
| ·跨尺度测量方法的硬件电路设计 | 第52-56页 |
| ·正弦波信号电路设计 | 第52-53页 |
| ·方波信号电路设计 | 第53-54页 |
| ·信号处理电路整体设计 | 第54-55页 |
| ·信号输出接口设计 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 实验研究 | 第57-68页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·硬件电路实验 | 第57-61页 |
| ·正弦波信号电路实验 | 第57-58页 |
| ·方波信号电路实验 | 第58页 |
| ·读数头信号分离实验 | 第58-61页 |
| ·误差标定与补偿 | 第61-66页 |
| ·测量误差的标定及分析 | 第61-64页 |
| ·测量误差的补偿 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
