基于微水导激光加工技术的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题来源及研究的目的和意义 | 第8-10页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第8-10页 |
| ·微水导激光加工技术的国内外研究现状 | 第10-13页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 微水导激光加工的理论基础 | 第14-23页 |
| ·激光特性参数 | 第14-16页 |
| ·激光波长 | 第14-15页 |
| ·激光光斑直径 | 第15-16页 |
| ·激光光束焦深 | 第16页 |
| ·水射流的稳定原理 | 第16-18页 |
| ·激光在水中的衰减原理 | 第18-19页 |
| ·微水导激光加工的机理与特点 | 第19-22页 |
| ·水束冷却效应 | 第20页 |
| ·材料去除特性 | 第20-21页 |
| ·水膜清洁特性 | 第21-22页 |
| ·切缝平行特性 | 第22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 激光束与水束耦合技术的研究 | 第23-42页 |
| ·微水导激光加工的耦合机理 | 第23-26页 |
| ·微水导激光的耦合条件 | 第23-24页 |
| ·发生全反射的最大入射角计算分析 | 第24-25页 |
| ·激光头与耦合装置相对位置的确定 | 第25-26页 |
| ·激光光斑的中心定位算法 | 第26-28页 |
| ·基于重心算法的激光光斑中心定位 | 第26-27页 |
| ·基于圆拟合的激光光斑中心定位算法 | 第27-28页 |
| ·微水导激光系统Z 轴位置的调节 | 第28-30页 |
| ·离焦量对激光光斑大小的影响 | 第28-29页 |
| ·最小光斑位置的确定 | 第29-30页 |
| ·微水导激光系统平面位置的调节 | 第30-37页 |
| ·激光光斑的中心位置定位 | 第31-34页 |
| ·喷嘴孔的中心位置定位 | 第34-37页 |
| ·激光束与水束的耦合误差分析 | 第37-41页 |
| ·横向偏移误差分析 | 第38-39页 |
| ·纵向偏移误差分析 | 第39-40页 |
| ·角度偏移误差分析 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 微水导激光加工试验与结果分析 | 第42-60页 |
| ·微水导激光加工试验系统介绍 | 第42-45页 |
| ·微水导激光切割硅片的试验 | 第45-55页 |
| ·加工参数对硅片加工效率的影响 | 第45-50页 |
| ·微水导激光切割硅片的正交试验分析 | 第50-53页 |
| ·微水导激光切割硅片的试验结果分析 | 第53-55页 |
| ·微水导激光切割不锈钢片的试验 | 第55-59页 |
| ·不锈钢片厚度与加工速度的关系 | 第55-56页 |
| ·加工参数对不锈钢片加工缝宽的影响 | 第56-58页 |
| ·微水导激光与传统激光加工效果对比 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
