分子束外延InGaN合金及其光电导行为研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 主要符号表 | 第14-15页 |
| 1 绪论 | 第15-38页 |
| 1.1 氮化物的基本物理性质 | 第16-24页 |
| 1.2 氮化物的应用前景 | 第24-31页 |
| 1.3 国内外研究进展 | 第31-35页 |
| 1.4 本文主要研究思路 | 第35-38页 |
| 2 分子束外延及表征技术 | 第38-60页 |
| 2.1 分子束外延系统 | 第38-45页 |
| 2.2 氮化物的分子束外延原理 | 第45-50页 |
| 2.3 测试表征技术 | 第50-60页 |
| 3 InGaN的分子束外延生长 | 第60-75页 |
| 3.1 引言 | 第60-61页 |
| 3.2 InGaN分子束外延生长原理 | 第61-62页 |
| 3.3 InGaN薄膜的分子束外延生长 | 第62-74页 |
| 3.4 本章小结 | 第74-75页 |
| 4 InGaN薄膜的液滴诱导外延 | 第75-89页 |
| 4.1 引言 | 第75页 |
| 4.2 InGaN薄膜的液滴诱导外延原理 | 第75-83页 |
| 4.3 InGaN表面微结构的RDS分析 | 第83-88页 |
| 4.4 本章小结 | 第88-89页 |
| 5 光照下InGaN薄膜的输运性质 | 第89-102页 |
| 5.1 引言 | 第89页 |
| 5.2 氮化物薄膜的光电导特性 | 第89-94页 |
| 5.3 InGaN材料的光电导特性 | 第94-100页 |
| 5.4 本章小结 | 第100-102页 |
| 6 结论与展望 | 第102-104页 |
| 6.1 结论 | 第102-103页 |
| 6.2 创新点 | 第103页 |
| 6.3 展望 | 第103-104页 |
| 参考文献 | 第104-115页 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 | 第115-118页 |
| 致谢 | 第118-121页 |
| 作者简介 | 第121页 |
