IC制造装备行为逻辑导引与约束控制研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 选题背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 论文相关内容简介 | 第10-13页 |
| 1.2.1 IC制造流程简介 | 第10-12页 |
| 1.2.2 集束型IC制造装备 | 第12-13页 |
| 1.3 国内外相关研究现状 | 第13-15页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 行为逻辑控制系统原型及系统对象元素建模 | 第17-33页 |
| 2.1 IC制造装备行为动态执行过程分析 | 第17-22页 |
| 2.1.1 IC制造装备行为的基本定义 | 第17-18页 |
| 2.1.2 IC制造装备行为动态执行过程分析 | 第18-22页 |
| 2.2 行为逻辑控制系统原型及对象元素建模 | 第22-25页 |
| 2.2.1 行为逻辑控制系统原型 | 第22页 |
| 2.2.2 系统对象元素的数学建模 | 第22-25页 |
| 2.3 应用实例 | 第25-32页 |
| 2.3.1 硅外延装备简介 | 第25-26页 |
| 2.3.2 面向对象分层建模方法 | 第26-28页 |
| 2.3.3 应用实例 | 第28-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 行为逻辑控制系统规则建模与逻辑控制 | 第33-44页 |
| 3.1 行为逻辑控制系统规则建模 | 第33-37页 |
| 3.1.1 行为逻辑导引与约束控制规则建模 | 第33-36页 |
| 3.1.2 状态演化控制规则建模 | 第36-37页 |
| 3.2 基于规则模型的行为逻辑控制 | 第37-39页 |
| 3.3 应用实例 | 第39-43页 |
| 3.3.1 旋转基座的系统规则建模 | 第39-40页 |
| 3.3.2 顶针的系统规则建模 | 第40-41页 |
| 3.3.3 硅片反应平台的系统规则建模 | 第41-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 行为逻辑控制系统性质分析与验证 | 第44-54页 |
| 4.1 行为逻辑控制系统性质分析与定义 | 第44-46页 |
| 4.1.1 规则完备性 | 第44-45页 |
| 4.1.2 系统活性 | 第45-46页 |
| 4.2 行为逻辑控制系统的矩阵模型 | 第46-49页 |
| 4.3 基于系统矩阵模型的系统性质证明 | 第49-53页 |
| 4.3.1 规则完备性证明 | 第49-51页 |
| 4.3.2 系统活性证明 | 第51-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 行为逻辑控制软件原型系统的实现与应用 | 第54-66页 |
| 5.1 软件原型系统设计 | 第54-55页 |
| 5.2 软件原型系统的实现 | 第55-61页 |
| 5.2.1 行为逻辑控制系统的实现 | 第55-58页 |
| 5.2.2 用户界面的实现 | 第58-60页 |
| 5.2.3 系统数据存储形式 | 第60-61页 |
| 5.3 原型系统的应用 | 第61-65页 |
| 5.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 全文总结 | 第66页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第71-72页 |
