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CVD法低温合成纳米金刚石薄膜及其动力学研究

第一章 绪论第1-13页
 1.1 金刚石的物理性质及应用第6-8页
 1.2 国内外在该方向的研究现状及分析第8-13页
第二章 实验装置及方法第13-19页
 2.1 未加栅极的实验装置及方法第13-14页
  2.1.1 实验装置简介第13-14页
  2.1.2 实验方法简介第14页
 2.2 加栅极的实验装置及方法第14-15页
  2.2.1 加栅极的实验装置第14-15页
  2.2.2 加栅极的实验方法第15页
 2.3 直流辉光放电简介第15-19页
第三章 纳米金刚石薄膜的低温合成第19-34页
 3.1 未加栅极的实验第19-26页
  3.1.1 表面形貌观测第19-24页
  3.1.2 显微啦曼光谱第24-25页
  3.1.3 薄膜的X射线衍射第25-26页
 3.2 加栅极的实验第26-32页
 3.3 加上栅极出现的问题及原因分析第32-34页
第四章 理论分析第34-41页
第五章 结束语第41-43页
参考文献第43-49页

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