第一章 绪论 | 第1-13页 |
1.1 金刚石的物理性质及应用 | 第6-8页 |
1.2 国内外在该方向的研究现状及分析 | 第8-13页 |
第二章 实验装置及方法 | 第13-19页 |
2.1 未加栅极的实验装置及方法 | 第13-14页 |
2.1.1 实验装置简介 | 第13-14页 |
2.1.2 实验方法简介 | 第14页 |
2.2 加栅极的实验装置及方法 | 第14-15页 |
2.2.1 加栅极的实验装置 | 第14-15页 |
2.2.2 加栅极的实验方法 | 第15页 |
2.3 直流辉光放电简介 | 第15-19页 |
第三章 纳米金刚石薄膜的低温合成 | 第19-34页 |
3.1 未加栅极的实验 | 第19-26页 |
3.1.1 表面形貌观测 | 第19-24页 |
3.1.2 显微啦曼光谱 | 第24-25页 |
3.1.3 薄膜的X射线衍射 | 第25-26页 |
3.2 加栅极的实验 | 第26-32页 |
3.3 加上栅极出现的问题及原因分析 | 第32-34页 |
第四章 理论分析 | 第34-41页 |
第五章 结束语 | 第41-43页 |
参考文献 | 第43-49页 |