| 中文摘要 | 第1-3页 |
| 英文摘要 | 第3-5页 |
| 第一章 引言 | 第5-8页 |
| 第二章 蒙特卡罗方法（MC） | 第8-18页 |
| 2．1 蒙特卡罗（Monte carlo）方法简介 | 第8-12页 |
| 2．2 蒙特卡罗方法解电子的输运问题 | 第12-18页 |
| 第三章 EACVD淀积金刚石薄膜中电子碰撞H_2分子过程研究 | 第18-45页 |
| 3．1 引言 | 第18页 |
| 3．2 模型 | 第18-22页 |
| 3．3 结果与分析 | 第22-45页 |
| 第四章 电子碰撞CH_4过程研究 | 第45-58页 |
| 4．1 模型 | 第45-48页 |
| 4．2 结果与分析 | 第48-58页 |
| 第五章 电子碰撞H_2+CH_4混合气体研究 | 第58-61页 |
| 5．1 模型 | 第58-59页 |
| 5．2 结果与分析 | 第59-61页 |
| 第六章 结束语 | 第61-63页 |
| 参考文献： | 第63-65页 |