Czochralski法晶体生长建模与控制研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 前言 | 第8-13页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·研究目的 | 第8页 |
| ·晶体生长概念和基本原理 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-12页 |
| ·CZ法晶体生长过程建模研究近况 | 第10-11页 |
| ·CZ法控制系统研究近况 | 第11-12页 |
| ·本文主要研究内容 | 第12-13页 |
| 2 CZ法晶体生长过程数学建模 | 第13-32页 |
| ·CZ法晶体生长温度状态方程的建立 | 第13-24页 |
| ·CZ法晶体生长过程的辐射换热分析 | 第13-17页 |
| ·CZ法晶体生长过程的传导换热分析 | 第17页 |
| ·温度状态方程的建立 | 第17-24页 |
| ·CZ法晶体生长几何状态方程的建立 | 第24-26页 |
| ·模型仿真步骤 | 第26-27页 |
| ·仿真结果及分析 | 第27-30页 |
| ·小节 | 第30-32页 |
| 3 CZ法晶体生长过程非线性动态特性研究 | 第32-41页 |
| ·扰动法非线性晶体生长过程数值模拟 | 第32-36页 |
| ·CZ法晶体生长数值模拟意义和研究进展 | 第32-33页 |
| ·CZ法晶体生长过程的简化分析 | 第33-34页 |
| ·熔液温度δ不变，提拉速度εp变化下的晶体生长 | 第34-35页 |
| ·提拉速度εp不变，熔液温度δ变化下的晶体生长 | 第35-36页 |
| ·扰动法仿真试验结果和分析 | 第36-39页 |
| ·熔液温度δ不变，拉速εp变化下的等径生长 | 第36-37页 |
| ·拉速εp不变，熔液温度δ变化下的等径生长 | 第37-39页 |
| ·小节 | 第39-41页 |
| 4 CZ法晶体生长过程先进 PID控制 | 第41-51页 |
| ·控制对象传递函数 | 第41-42页 |
| ·基于神经网络整定的 PID控制 | 第42-47页 |
| ·基于 BP神经网络整定的 PID控制 | 第42-45页 |
| ·基于 RBF神经网络整定的 PID控制 | 第45-47页 |
| ·基于遗传算法整定的 PID控制 | 第47-50页 |
| ·小节 | 第50-51页 |
| 5 CZ法晶体生长称重电路的设计 | 第51-59页 |
| ·高精度称重系统组成 | 第51-52页 |
| ·称重数据采集系统电路设计 | 第52-55页 |
| ·电源设计 | 第52-53页 |
| ·ADC通道设计 | 第53-54页 |
| ·ADuC824与直径调节系统的通讯 | 第54-55页 |
| ·系统软件设计 | 第55-58页 |
| ·数据采集系统软件设计 | 第55-57页 |
| ·PC机和 ADuC824串口通讯 | 第57-58页 |
| ·小节 | 第58-59页 |
| 6 结语 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 附录1 坩埚-熔液-环境间辐射换热速率 | 第65-66页 |
| 附录2 称重系统电路图 | 第66-67页 |
| 附录3 TCOMM组件简介 | 第67-68页 |
| 附录4 上位机通信程序 | 第68-70页 |
| 研究生期间论文发表情况 | 第70页 |
