集成电路模块在线清洗系统的研究和设计
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 集成电路技术简介 | 第8-9页 |
| 1.2 集成电路模块生产中的清洗技术 | 第9-11页 |
| 1.3 在线清洗系统研究的目的及意义 | 第11-13页 |
| 1.4 主要工作内容 | 第13-14页 |
| 第二章 等离子清洗技术原理 | 第14-22页 |
| 2.1 等离子基础理论 | 第14-18页 |
| 2.2 等离子清洗简介 | 第18-20页 |
| 2.3 工艺气体在清洗中的作用 | 第20-21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 集成电路模块在线清洗系统总体设计 | 第22-36页 |
| 3.1 总体结构 | 第22-23页 |
| 3.2 技术要求 | 第23-24页 |
| 3.3 分支结构说明 | 第24-34页 |
| 3.3.1 等离子清洗系统设计 | 第24-28页 |
| 3.3.2 自动传输系统设计 | 第28-33页 |
| 3.3.3 设备主体 | 第33-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 四章 集成电路模块在线清洗系统电气硬件设计 | 第36-54页 |
| 4.1 电气硬件系统概述 | 第36-37页 |
| 4.2 分支系统介绍 | 第37-53页 |
| 4.2.1 上位机及人机界面 | 第37-38页 |
| 4.2.2 PLC 系统 | 第38-40页 |
| 4.2.3 等离子清洗系统 | 第40-43页 |
| 4.2.4 伺服定位系统 | 第43-49页 |
| 4.2.5 气动控制系统 | 第49-51页 |
| 4.2.6 信号采集系统 | 第51-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 集成电路模块在线清洗系统软件设计 | 第54-86页 |
| 5.1 系统运行流程分析 | 第54-59页 |
| 5.1.1 等离子清洗工艺流程设计 | 第54-55页 |
| 5.1.2 自动传输系统工作流程 | 第55-59页 |
| 5.2 PLC 程序设计 | 第59-75页 |
| 5.2.1 PLC 概述 | 第59页 |
| 5.2.2 CJ 系列 PL C 编程方式 | 第59-60页 |
| 5.2.3 PLC 控制系统软件总体设计 | 第60-62页 |
| 5.2.4 主要控制程序简介 | 第62-75页 |
| 5.3 人机界面设计 | 第75-84页 |
| 5.4 本章小结 | 第84-86页 |
| 第六章 在线式等离子清洗系统总结与展望 | 第86-90页 |
| 6.1 系统清洗效率分析 | 第86-87页 |
| 6.2 系统优势分析 | 第87-90页 |
| 致谢 | 第90-92页 |
| 参考文献 | 第92-94页 |
| 在读期间的研究成果 | 第94-95页 |
