| 目录 | 第3-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 各种纳米加工技术的对比 | 第9-11页 |
| 1.3 激光干涉光刻技术 | 第11-13页 |
| 1.4 激光干涉光刻技术的国内外研究进展 | 第13-17页 |
| 1.5 激光干涉光刻技术面临的挑战 | 第17页 |
| 1.6 本课题研究意义 | 第17-18页 |
| 1.7 论文架构 | 第18-20页 |
| 第二章 Lloyd’s-Mirror激光干涉光刻 | 第20-60页 |
| 2.1 激光干涉平台的搭建 | 第20-26页 |
| 2.2 Lloyd’s-Mirror干涉光刻加工表面纳米结构 | 第26-35页 |
| 2.3 Lloyd’s-Mirror干涉光刻图形加工结果 | 第35-45页 |
| 2.4 Lloyd’s-Mirror干涉光刻工艺中几种光刻胶对比 | 第45-48页 |
| 2.5 干涉光刻图形转移 | 第48-51页 |
| 2.6 Lloyd’s-Mirror干涉光刻实验结果讨论及误差分析 | 第51-58页 |
| 2.7 总结 | 第58-60页 |
| 第三章 以激光干涉光刻为基础的表面纳米结构疏水研究 | 第60-71页 |
| 3.1 引言 | 第60-61页 |
| 3.2 疏水原理介绍 | 第61-64页 |
| 3.3 周期性表面结构的加工 | 第64-66页 |
| 3.4 周期性表面结构的疏水结果 | 第66-68页 |
| 3.5 表面结构的疏水性结果讨论 | 第68-70页 |
| 3.6 总结 | 第70-71页 |
| 第四章 以激光干涉光刻为基础的表面纳米结构表面等离子共振研究 | 第71-82页 |
| 4.1 引言 | 第71-73页 |
| 4.2 结构对于表面等离子体共振研究 | 第73-74页 |
| 4.3 实验样品加工及实验 | 第74-76页 |
| 4.4 周期性纳米结构表面等离子体共振实验结果 | 第76-79页 |
| 4.5 实验结果分析 | 第79-81页 |
| 4.6 总结 | 第81-82页 |
| 第五章 激光干涉光刻新工艺及其他应用探索研究 | 第82-96页 |
| 5.1 背向曝光 | 第82-83页 |
| 5.2 图形浇注转移 | 第83-84页 |
| 5.3 抗反射层及刻蚀结构研究 | 第84-86页 |
| 5.4 表面结构SPR在生物传感方面的研究初步 | 第86-92页 |
| 5.5 表面结构在其他方面的应用 | 第92-94页 |
| 5.6 新工艺与应用总结 | 第94-96页 |
| 第六章 总结与展望 | 第96-98页 |
| 参考文献 | 第98-105页 |
| 攻读硕士期间发表论文与专利申请 | 第105-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |
