| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-26页 |
| ·课题来源、研究的意义和目的 | 第11页 |
| ·课题来源 | 第11页 |
| ·课题研究的意义和目的 | 第11页 |
| ·课题背景 | 第11-12页 |
| ·芯片封装技术简介 | 第12-14页 |
| ·高加速度高精度定位平台国内外研究现状 | 第14-24页 |
| ·高加速度高精度定位平台机械结构 | 第14-18页 |
| ·高加速度高精度定位平台设计方法 | 第18-19页 |
| ·国内外空气轴承研究现状 | 第19-20页 |
| ·直线电机直接驱动高加速度高精度运动控制 | 第20-22页 |
| ·相关技术的研究进展 | 第22-23页 |
| ·课题组高加速度高精度定位研究已取得的成果 | 第23-24页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第24-26页 |
| 第二章 高加速度高精度气浮定位平台的结构设计 | 第26-46页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·机械结构设计 | 第26-28页 |
| ·直线电机的选取 | 第28-34页 |
| ·直线电机原理及特点 | 第28-29页 |
| ·不同类型直线电机性能分析 | 第29-30页 |
| ·直线电机型号的选择 | 第30-34页 |
| ·光栅尺的选取 | 第34-35页 |
| ·结构有限元分析 | 第35-44页 |
| ·结构静力学分析 | 第36-39页 |
| ·结构动力学分析 | 第39-44页 |
| ·本章小节 | 第44-46页 |
| 第三章 小孔节流式静压空气轴承性能的研究 | 第46-62页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·空气轴承的工作原理及特点 | 第46-48页 |
| ·空气轴承的工作原理 | 第46-47页 |
| ·空气轴承的特点 | 第47-48页 |
| ·不同参数小节流式静压空气轴承性能的仿真和实验分析 | 第48-52页 |
| ·小孔节流式静压空气轴承内部气体流动特点 | 第48-49页 |
| ·计算流体动力学(CFD)软件简介 | 第49-50页 |
| ·小孔节流式静压轴承性能仿真分析 | 第50-51页 |
| ·仿真结果的实验验证 | 第51-52页 |
| ·小孔节流式静压空气轴承几何参数对其性能的影响 | 第52-61页 |
| ·节流孔直径对轴承性能的影响 | 第52-54页 |
| ·气腔尺寸对空气轴承性能的影响 | 第54-56页 |
| ·节流孔长度对空气轴承性能的影响 | 第56-59页 |
| ·进出口面积与最大气体流速之间的关系 | 第59-60页 |
| ·小孔节流式静压空气轴承的设计方法 | 第60-61页 |
| ·本章小节 | 第61-62页 |
| 第四章 气浮导轨的设计、计算和优化 | 第62-79页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·空气轴承的设计方法 | 第62-64页 |
| ·气浮导轨性能计算的有限元方法 | 第64-73页 |
| ·气体润滑的基本方程 | 第64-66页 |
| ·气浮导轨内气体压力分布的有限元计算方法 | 第66-72页 |
| ·气浮导轨的承载能力和角刚度的计算 | 第72-73页 |
| ·导轨性能的计算和结果分析 | 第73-76页 |
| ·实验验证 | 第76-78页 |
| ·本章小节 | 第78-79页 |
| 第五章 开放式运动控制系统软硬件设计 | 第79-95页 |
| ·引言 | 第79-80页 |
| ·开放式控制系统的硬件结构 | 第80-86页 |
| ·控制系统硬件组成 | 第80-81页 |
| ·MCT8000F4 运动控制器 | 第81-83页 |
| ·SERVOSTAR_CD 伺服驱动器 | 第83-84页 |
| ·控制箱电路原理图 | 第84-86页 |
| ·开放式控制系统软件 | 第86-94页 |
| ·本章小节 | 第94-95页 |
| 第六章 高加速度高精度气浮定位平台的建模与实验 | 第95-114页 |
| ·引言 | 第95页 |
| ·平台的物理模型 | 第95-99页 |
| ·直线电机的数学模型 | 第99-100页 |
| ·平台动力学模型 | 第100-102页 |
| ·实验 | 第102-113页 |
| ·平台加工精度检测 | 第102-103页 |
| ·基于Matlab 运动模型仿真与平台扫频实验 | 第103-107页 |
| ·加速度性能实验 | 第107-108页 |
| ·高加速度高精度运动控制实验 | 第108-113页 |
| ·本章小节 | 第113-114页 |
| 第七章 总结与展望 | 第114-119页 |
| ·总结 | 第114-117页 |
| ·论文创新点 | 第117页 |
| ·研究展望 | 第117-119页 |
| 参考文献 | 第119-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
| 攻读博士期间发表的学术论文 | 第127-128页 |
| 申请专利和软件登记 | 第128页 |