倒装键合中各向异性导电胶微互连电阻形成机理研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-28页 |
| ·课题来源 | 第10页 |
| ·课题研究背景 | 第10-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-25页 |
| ·研究意义和内容 | 第25-28页 |
| 2 导电粒子的体电阻建模 | 第28-57页 |
| ·ACA的组成和分类 | 第28-29页 |
| ·刚性粒子的体电阻模型 | 第29-47页 |
| ·弹性粒子的体电阻模型 | 第47-51页 |
| ·导电粒子的结构尺寸对体电阻的影响规律 | 第51-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 3 接触表面的收缩电阻和隧道电阻建模 | 第57-88页 |
| ·电接触理论 | 第57-60页 |
| ·接触表面微观形貌分析 | 第60-66页 |
| ·导电斑点的参数确定 | 第66-73页 |
| ·收缩电阻建模 | 第73-83页 |
| ·隧道电阻率的测定 | 第83-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 4 ACA的互连过程建模 | 第88-105页 |
| ·ACA的互连过程分析 | 第88-92页 |
| ·刚性粒子的互连过程建模 | 第92-98页 |
| ·弹性粒子的互连过程建模 | 第98-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 5 多导电粒子的接点电阻建模与参数分析 | 第105-113页 |
| ·单凸点上多个导电粒子的电阻模型 | 第105-109页 |
| ·结果讨论 | 第109-112页 |
| ·本章小结 | 第112-113页 |
| 6 工艺参数优化与实验验证 | 第113-128页 |
| ·胶体的固化反应动力学研究 | 第113-118页 |
| ·胶体的固化度与弹性模量的关系 | 第118-120页 |
| ·工艺参数分析与优化 | 第120-123页 |
| ·模型验证 | 第123-127页 |
| ·本章小结 | 第127-128页 |
| 7 总结与展望 | 第128-131页 |
| ·论文总结 | 第128-130页 |
| ·工作展望 | 第130-131页 |
| 致谢 | 第131-132页 |
| 参考文献 | 第132-142页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的论文 | 第142-143页 |
| 附录2 攻读博士学位期间申请的专利 | 第143-144页 |
| 附录3 攻读博士学位期间取得的科技成果 | 第144-145页 |
| 附录4 攻读博士学位期间参与的科研项目 | 第145页 |
