硅基MOS器件的电离辐照效应分析
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·基本辐照效应 | 第7-8页 |
| ·国内外发展现状 | 第8-9页 |
| ·论文结构 | 第9-11页 |
| 第二章 MOS结构的电离辐射效应 | 第11-23页 |
| ·MOS结构的总剂量辐照效应 | 第11-13页 |
| ·电子-空穴对的产生 | 第11-13页 |
| ·辐射在MOS结构中引入缺陷的机理 | 第13页 |
| ·电离辐照效应对MOS器件的影响 | 第13-16页 |
| ·阈值电压漂移 | 第14-15页 |
| ·跨导退化 | 第15-16页 |
| ·静态漏电流 | 第16页 |
| ·MOS结构电离辐照效应的表征 | 第16-19页 |
| ·抗辐照加固方法 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-23页 |
| 第三章 MOS器件阈值电压模型的数值仿真 | 第23-37页 |
| ·辐照产生的陷阱及其影响 | 第23-25页 |
| ·辐照前的界面态 | 第23页 |
| ·辐照引入的氧化物陷阱电荷和界面态电荷 | 第23-24页 |
| ·辐照引入的界面陷阱的性质及其对阈值电压的影响 | 第24-25页 |
| ·辐照剂量与阈值电压漂移关系模型 | 第25-26页 |
| ·电离辐照ISE模拟仿真 | 第26-34页 |
| ·ISE软件简介 | 第26-28页 |
| ·电离辐照仿真 | 第28-34页 |
| ·仿真模拟结果讨论 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第四章 SOI结构电离辐照总剂量效应模拟 | 第37-49页 |
| ·SOI技术的优点与存在的问题 | 第37-38页 |
| ·SOI技术的主要优势 | 第37页 |
| ·SOI技术中存在的问题 | 第37-38页 |
| ·SOI结构的总剂量辐照效应 | 第38-41页 |
| ·PD MOSFET/SOI器件的总剂量辐照效应 | 第38-40页 |
| ·SOI材料BOX层总剂量辐照效应 | 第40-41页 |
| ·SOI电离辐照效应阈值电压模型与模拟 | 第41-47页 |
| ·SOI电离辐照效应阈值电压模型 | 第41-42页 |
| ·模拟验证 | 第42-44页 |
| ·不同偏置条件对SOI阈值电压的影响 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 结论与展望 | 第49-51页 |
| ·结论 | 第49页 |
| ·展望 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |