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硅基MOS器件的电离辐照效应分析

摘要第1-4页
Abstract第4-7页
第一章 绪论第7-11页
   ·基本辐照效应第7-8页
   ·国内外发展现状第8-9页
   ·论文结构第9-11页
第二章 MOS结构的电离辐射效应第11-23页
   ·MOS结构的总剂量辐照效应第11-13页
     ·电子-空穴对的产生第11-13页
     ·辐射在MOS结构中引入缺陷的机理第13页
   ·电离辐照效应对MOS器件的影响第13-16页
     ·阈值电压漂移第14-15页
     ·跨导退化第15-16页
     ·静态漏电流第16页
   ·MOS结构电离辐照效应的表征第16-19页
   ·抗辐照加固方法第19-20页
   ·本章小结第20-23页
第三章 MOS器件阈值电压模型的数值仿真第23-37页
   ·辐照产生的陷阱及其影响第23-25页
     ·辐照前的界面态第23页
     ·辐照引入的氧化物陷阱电荷和界面态电荷第23-24页
     ·辐照引入的界面陷阱的性质及其对阈值电压的影响第24-25页
   ·辐照剂量与阈值电压漂移关系模型第25-26页
   ·电离辐照ISE模拟仿真第26-34页
     ·ISE软件简介第26-28页
     ·电离辐照仿真第28-34页
   ·仿真模拟结果讨论第34-35页
   ·本章小结第35-37页
第四章 SOI结构电离辐照总剂量效应模拟第37-49页
   ·SOI技术的优点与存在的问题第37-38页
     ·SOI技术的主要优势第37页
     ·SOI技术中存在的问题第37-38页
   ·SOI结构的总剂量辐照效应第38-41页
     ·PD MOSFET/SOI器件的总剂量辐照效应第38-40页
     ·SOI材料BOX层总剂量辐照效应第40-41页
   ·SOI电离辐照效应阈值电压模型与模拟第41-47页
     ·SOI电离辐照效应阈值电压模型第41-42页
     ·模拟验证第42-44页
     ·不同偏置条件对SOI阈值电压的影响第44-47页
   ·本章小结第47-49页
第五章 结论与展望第49-51页
   ·结论第49页
   ·展望第49-51页
致谢第51-53页
参考文献第53-57页

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